525系列 — 表面粗糙度/輪廓測(cè)量?jī)x

基本技術(shù)參數(shù):
基座尺寸 (W x H): 600 x 450mm 或 1000 x 450mm
基座材料: 花崗巖
重量
主機(jī): 140kg (S4), 150kg (H4), 220kg (W4)
        140kg (S8), 150kg (H8), 220kg (W8)
控制器: 14kg
遙控箱: 0.9kg
電源: 100 – 120V AC ±10%,200 – 240V AC ±10%, 50/60Hz
能耗: 400W (主機(jī))

輪廓測(cè)量技術(shù)參數(shù):
X1 軸
測(cè)量范圍: 100mm 或 200mm
分辨率: 0.05μm
長(zhǎng)度基準(zhǔn): 反射型線性編碼器
驅(qū)動(dòng)速度: 0 - 80mm/s 外加手動(dòng)
測(cè)量速度: 0.02 - 5mm/s
移動(dòng)方向: 向前／向后
直線度: 0.8μm / 100mm, 2μm / 200mm* 以X1 軸為水平方向上
直線位移:         ±(1+0.01L)μm (SV-C3200S4, H4, W4)
精度 (20oC 時(shí)) ±(0.8+0.01L)μm (SV-C4500S4, H4, W4)
                      ±(1+0.02L)μm (SV-C3200S8, H8, W8)
                      ±(0.8+0.02L)μm (SV-C4500S8, H8, W8)
                      * L 為驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度 (mm)
傾角范圍: ±45o (帶有X1 軸傾斜單位)
Z2 軸 (立柱)
垂直移動(dòng): 300mm 或 500mm
分辨率: 1μm
長(zhǎng)度基準(zhǔn): ABSOLUTE 線性編碼器
驅(qū)動(dòng)速度: 0 - 30mm/s 外加手動(dòng)
Z1 軸 (檢出器)
測(cè)量范圍: ±30mm
分辨率: 0.04μm (SV-C3200),0.02μm (SV-C4500)
標(biāo)尺: 線性編碼器
精度 (20oC 時(shí)) ±(1.6+|2H|/100)μm (SV-C3200)
                      ±(0.8+|2H|/100)μm (SV-C4500)
                      *H: 基于水平位置的測(cè)量高度 (mm)
測(cè)針上／下運(yùn)作: 弧形移動(dòng)
測(cè)針方向: 向上/ 向下(SV-C3200)( 上下可連續(xù)測(cè)量) (SV-C4500)
測(cè)力: 30mN (SV-C3200)
        10, 20, 30, 40, 50mN (SV-C4500)
        * 如 SV-C4500 設(shè)置測(cè)力
跟蹤角度: 向上: 77o, 向下: 83o(使用配置的標(biāo)準(zhǔn)測(cè)頭， 依表面粗糙度而定)
測(cè)針針尖 ***半徑: 25μm, 硬質(zhì)合金***

表面粗糙度測(cè)量技術(shù)參數(shù):
X1 軸
測(cè)量范圍: 100mm 或 200mm
分辨率: 0.05μm
長(zhǎng)度基準(zhǔn): 線性編碼器
驅(qū)動(dòng)速度: 0 - 80mm/s 外加手動(dòng)
移動(dòng)方向: 向后
直線度: (0.05+1L/1000)μm (S4, H4, W4 型)
           0.5μm/200mm (S8, H8, W8 型)
Z2 軸 (立柱)
垂直移動(dòng): 300mm 或 500mm
分辨率: 1μm
長(zhǎng)度基準(zhǔn): ABSOLUTE 線性編碼器
驅(qū)動(dòng)速度: 0 - 30mm/s 外加手動(dòng)
檢出器
范圍／分辨率: 800μm / 0.01μm, 80μm / 0.001μm,
8μm / 0.0001μm (使用測(cè)針選件時(shí)，可達(dá)2400μm)
測(cè)力: 4mN 或 0.75mN (低測(cè)力型)
測(cè)針針尖: 金剛石, 90o / 5μmR(60o / 2μmR: 低測(cè)力型)
使用旋轉(zhuǎn)工作臺(tái) q2 類型 : 差動(dòng)電感式

測(cè)量分析軟件( 選件)
FORMTRACEPAK
使用該軟件可以控制馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的Y 軸工作臺(tái)和旋轉(zhuǎn)臺(tái)選件，從而實(shí)現(xiàn)自動(dòng)測(cè)量。使用該軟件還可以進(jìn)行輪廓評(píng)價(jià)，這項(xiàng)評(píng)估包括對(duì)階差，角度，深度，面積和其他基于表面粗糙度數(shù)據(jù)進(jìn)行分析。另外，還可以通過設(shè)置打印格式建立原始檢測(cè)證書，以適應(yīng)不同的需求。

*產(chǎn)品信息僅供參考，型號(hào)和技術(shù)參數(shù)生產(chǎn)廠家有可能隨時(shí)更改

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