去離子水,一般采用的是反滲透+離子交換混床工藝制得的純水,一般電導率可以達到0.056us/cm,很容易制取高純度的水,成本比較低,也是目前普遍制取純水的工藝.但是,在問題方面,如果不加處理,不如蒸餾水好.這種工藝制得的純水,微生物含量比較有保障.如果離子交換工藝做的去離子水,后端采用了殺菌措施,則去離子水的純度會更高一些,而且成本更低.

水質(zhì)標準所規(guī)定的各項指標應(yīng)該根據(jù)電子(微電子)元器件(或材料)的生產(chǎn)工藝而定(如普遍認為造成電路性能破壞的顆粒物質(zhì)的尺寸為其線寬的1/5-1/10)，但由于微電子技術(shù)的復(fù)雜性和影響產(chǎn)品質(zhì)量的因素繁多，至今尚無一份由工藝試驗得到的適用于某種電路生產(chǎn)的完整的水質(zhì)標準。不過近年來電子級水標準也在不斷地修訂，而且高純水分析領(lǐng)域的許多突破和發(fā)展，新的儀器和新分析方法的不斷應(yīng)用都為制水工藝的發(fā)展創(chuàng)造了條件。

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