上海蠻吉光電科技有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品: 奧林巴斯顯微鏡, 工業(yè)視頻內(nèi)窺鏡, 倒置金相顯微鏡
AL120晶圓搬送機(jī)-AL120搭載奧林巴斯MX專業(yè)晶圓檢查顯微鏡-上海蠻吉
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訂貨量(臺(tái))
¥850000.00
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所在地區(qū)
上海市嘉定區(qū)
主營(yíng)產(chǎn)品
?AL120晶圓搬送機(jī)
適應(yīng)范圍廣、搭配靈活
對(duì)應(yīng)多種尺寸組合
我們推出了200 mm專用型、200 mm/150 mm兼用型和150 mm型(對(duì)應(yīng)小于150 mm的晶圓)的3種型號(hào)。除此以外,您還可以根據(jù)檢查模式,選用微觀檢查專用型號(hào)"L型"或微觀?宏觀檢查兼用型號(hào)"LMB型"。
晶圓尺寸?厚度對(duì)應(yīng)表
薄片檢查
對(duì)應(yīng)薄片制造廠家的需求,AL120-LMB-90搭載的新型搬送手臂的設(shè)計(jì)可以搬運(yùn)整盒25枚90 μm的極薄晶圓。
高度實(shí)用性
進(jìn)一步優(yōu)化的宏觀檢查
背面宏觀360゜旋轉(zhuǎn) | ?宏觀檢查手臂可以360゜旋轉(zhuǎn),更為容易發(fā)現(xiàn)傷痕和微塵。 ? 利用360゜旋轉(zhuǎn)功能,完全可以目視檢查整個(gè)晶圓(包括邊緣)。此外,在表面宏觀檢查中,使用操縱桿可隨意將晶圓傾斜30゜進(jìn)行觀察。 |
操作便捷
? 為了滿足各種常規(guī)檢查的要求,AL120可以登記多達(dá)10個(gè)檢查程序。使用這一功能可以記錄特定的卡盒、晶圓和傳輸速度。快速菜單選擇按鈕則可以讓操作員立刻切換不同程序。
?晶圓搬送機(jī)的菜單設(shè)置和設(shè)置參數(shù)都會(huì)在新型的LCD顯示器上顯示。 使用RECALL按鈕可以顯示檢查時(shí)登記的有缺陷的對(duì)應(yīng)SLOT,便于操作者再次確認(rèn)。
?AL120使用非接觸光學(xué)定位、查找和對(duì)齊缺口/平面,可以減少晶圓和設(shè)備之間的接觸,提高晶圓的清潔度。
高度可靠性
優(yōu)先考慮晶圓和操作者的
?為了能夠的安裝晶圓,采用了在裝置正面放置片盒的設(shè)計(jì)。
?在性和人機(jī)工學(xué)上通過(guò)了SEMI S2/S8檢測(cè),同時(shí),在環(huán)境保護(hù)方面遵守了RoHS指令。
堅(jiān)固、耐用的顯微鏡底座
AL120搭載奧林巴斯MX專業(yè)晶圓檢查顯微鏡系列,通過(guò)各種觀測(cè)方法,包括:明視場(chǎng)、暗視場(chǎng)、微分干涉(DIC)、近IR(近紅外線)和DUV(深紫外線),實(shí)現(xiàn)了卓越的圖像分辨率和清晰度。電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器和孔徑光闌相互鎖定,可以優(yōu)化各物鏡的照明和對(duì)比度。如果特別訂制,AL120還可以應(yīng)用到其他型號(hào)的顯微鏡上。
人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì)的載物臺(tái)
?手動(dòng)快速釋放真空載物臺(tái)可以提高操作員的舒適度和工作效率,標(biāo)準(zhǔn)功能為XY軸控制和晶圓旋轉(zhuǎn)功能。
?可通過(guò)操縱桿或預(yù)編程的程序控制電動(dòng)載物臺(tái),進(jìn)一步將檢查過(guò)程自動(dòng)化。只需一鍵便可驅(qū)動(dòng)載物臺(tái)返回或離開(kāi)load/unload位置及原點(diǎn)位置。
技術(shù)規(guī)格
晶圓搬送機(jī) AL120 規(guī)格 | ||||||||
200 mm專用型 | 200 mm/150 mm 兼用型 | 150 mm型 | ||||||
AL120- LMB8- 90 | AL120- LMB86- 180 | AL120- L86- 180 | AL120- LMB86 | AL120- L86 | AL120- LMB6- 150 | AL120- L6- 150 | ||
晶圓尺寸(SEMI規(guī)格) | 200mm | 200mm / 150mm | 150mm / 125mm / 100mm | |||||
晶圓小厚度 | 90μm | 180μm | 400μm | 150μm | ||||
片盒類型* | SEMI規(guī)格:25(26)個(gè)slot | |||||||
片盒數(shù) | 1 | |||||||
檢查模式 | 全部檢查/抽樣檢查 | |||||||
搬運(yùn)順序 | 微觀檢查(顯微鏡檢查) | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
表面宏觀檢查 | ○ | ○ | ○ | ○ | ||||
背面宏觀檢查 | ○ | ○ | ○ | ○ | ||||
二次背面宏觀檢查 | ○ | ○ | ○ | ○ | ||||
晶圓定位(每 90o) | 非接觸(定位平邊/V型槽) | 非接觸(定位平邊) | ||||||
適配顯微鏡型號(hào) | 奧林巴斯半導(dǎo)體檢查顯微鏡 MX61 | |||||||
尺寸(mm) | 主機(jī)部分:640 (W) × 620 (D) × 378 (H),配備顯微鏡時(shí):1100 (W) × 620 (D) × 378 (H) | 主機(jī)部分:570 (W) × 620 (D) × 400 (H),配備顯微鏡時(shí):980 (W) × 620 (D) × 400 (H) | ||||||
重量(kg)(僅主機(jī)部分) | 44 | 44 | 41 | 44 | 41 | 40 | 37 | |
使用環(huán)境(電源/真空) | AC100 V~120 V、1 A或AC220 V~240 V、0.5 A 50/60 Hz、-67~-80 kPa、20 Liter/min以上 |
* 多可登記10種片盒
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