

北京科創(chuàng)鼎新真空技術(shù)有限公司
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北京科創(chuàng)鼎新真空技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品: 其他行業(yè)專用設(shè)備
超高真空室加工中心-立式真空室加工公司-科創(chuàng)真空
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真空腔體加工的注意事項(xiàng)
真空腔體是保持內(nèi)部為真空狀態(tài)的容器,真空腔體加工要考慮容積、材質(zhì)和形狀。
超高真空系統(tǒng)主要采用不銹鋼材質(zhì)。其中300系列不銹鋼(表1)是含Cr10%~20%的低碳鋼,具有優(yōu)良的抗腐蝕性、無磁性、焊接性好、導(dǎo)電率、放氣率低和導(dǎo)熱率低、能夠在-270~900℃工作等優(yōu)點(diǎn),在高真空和超高真空系統(tǒng)中,應(yīng)用較廣。
為了減小腔體內(nèi)壁的表面積,通常用噴砂或電解拋光的方式來獲得平坦的表面。超高真空系統(tǒng)的腔體,更多的是利用電解拋光來進(jìn)行表面處理。

真空腔體除塵過濾方式及過濾裝置大家了解多少呢?
有些真空工藝會產(chǎn)生大量的塵土,如果塵土隨被抽氣體進(jìn)入油封真空泵內(nèi)混在泵油中,會像研磨劑一樣加速泵腔內(nèi)零件的磨損,對泵轉(zhuǎn)子和泵腔造成磨損和損壞,堵塞油路或使泵無法運(yùn)轉(zhuǎn),如果塵土進(jìn)入真空閥門則會使密封失效而泄漏,因此塵土的規(guī)避和過濾己成為增加真空腔體的使用壽命,增加生產(chǎn)率的關(guān)鍵問題,在有塵土的真空系統(tǒng)中,要采用塵土過濾器。
在塵土量較少時,可以由泵油過濾系統(tǒng)濾除,但塵土量較大時,為不讓真空泵損壞,讓真空泵的正常運(yùn)轉(zhuǎn)要使用除塵器。真空腔體加工廠家解釋說常用塵土過濾方法有以下幾種:
(1)旋風(fēng)離心式。進(jìn)氣口與筒體成偏疼放置,塵土隨氣流旋轉(zhuǎn),因離心力效果而沉降在過濾器的底部。
(2)油淋式。在油泵的效果下,使真空泵油從除塵器的頂部高速噴下,油霧與上升的氣流相互效果吸附,混在氣流中的塵土與油一同沉降至油池。
(3)油濕介質(zhì)粘附式。塵土在氣流效果下磕碰用真空泵油浸濕的介質(zhì)外表而被粘附,常用介質(zhì)有環(huán)狀或顆粒狀陶瓷、金屬絲條等。
(4)介質(zhì)阻撓式。使用介質(zhì)的機(jī)械阻撓效果過濾塵土,常用介質(zhì)有金屬絲網(wǎng)、天然或合成纖維、多孔金屬、多孔塑料等。
(5)靜電吸附式。使用真空中氣輝光放電構(gòu)成等離子體,塵土在等離子體中附著電荷,在電場力效果下被驅(qū)向電極外表而集。
(6)混合式。將以上幾種過濾形式進(jìn)行組合構(gòu)成混合的過濾形式。

真空腔體制造技術(shù)
提供專用設(shè)備腔的定制服務(wù),腔體的外形和開口可以根據(jù)用戶要求進(jìn)行設(shè)計(jì)。
表面分析腔有通用腔體,用戶也可以在通用腔體的基礎(chǔ)上進(jìn)行自定義設(shè)計(jì)。
手套箱和焊接箱專用于熔煉或焊接鈦、鋅等對易在大氣中氧化的材料。
真空密封頸是基板和鐘形罩之間的過渡組件,它可以提供額外的高度和更多的自由端口。
裝載鎖定室是建在主腔體上的小腔體,可在不破壞主腔體真空度的條件下,將樣本、晶片或其他組件從外部大氣環(huán)境移動到內(nèi)部高真空環(huán)境中。
表面分析腔有通用腔體,用戶也可以在通用腔體的基礎(chǔ)上進(jìn)行自定義設(shè)計(jì)。
真空腔體可以按照真空度進(jìn)行分類,包括粗或低真空度(< 760, > 1 torr),中真空度(< 1, >10-3 torr),高真空度(< 10-3, >10-8 torr),超高真空度(< 10-8 torr),以及非真空的高壓力 (> 760 torr)。真空腔的寬度和外徑等常規(guī)尺寸是非常重要的參數(shù)。標(biāo)準(zhǔn)鐘形罩或柱形腔體的可選直徑是12英寸,14英寸,18英寸和24英寸。
真空腔體或者真空組件的可選項(xiàng)包括法蘭、裝配形式、表面拋光或電拋光、開口或傳導(dǎo)口,加熱器和冷卻方式等。
Ferrotec在真空中制造中的解決方案
使用磁流體密封件作為在旋轉(zhuǎn)過程中真空解決方案。磁流體密封件可以隔絕大氣和污染物。
制備的石英用來制造視口及配件等組件,石英在許多其他加工工藝中也有使用。
真空鍍膜可選Ferrotec的PVD電子束蒸發(fā)系統(tǒng)。
如需了解更多真空環(huán)境下的制造信息,請參考真空工業(yè)界的資料。
復(fù)雜的真空腔體通常需要定制,即針對應(yīng)用終端進(jìn)行專門的設(shè)計(jì)和制作。某些常見的真空腔體已經(jīng)過預(yù)先設(shè)計(jì),如手套箱、焊接室、脫氣箱、表面分析真空腔等。例如脫氣箱和手套箱一般采用低真空環(huán)境,可用于焊接,或用于塑料制品、復(fù)合材料層壓板、封裝組件等的脫氣。



