iH 高真空干泵 

我們的 iH 干泵為高難度的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品） 提供高度可靠、成本低廉的泵解決方案。iH 系列 具有五級(jí)主泵，使用創(chuàng)新的懸臂式轉(zhuǎn)子、爪式和羅茨 設(shè)計(jì)，可改善粉塵的處理，減少排氣噪音。此外，iH 系列泵配有一臺(tái)單級(jí)機(jī)械增壓泵和完全 封閉的水冷卻電機(jī)。

應(yīng)用

負(fù)載鎖定

轉(zhuǎn)換

計(jì)量

平版印刷

PVD 制程

PVD 預(yù)清潔

RTA

剝離/灰化

刻蝕

植入源

HDP CVD

RTP

SACVD

MCVD

PECVD

LPCVD

ALD

功能與優(yōu)勢

優(yōu)化了設(shè)施消耗

無需預(yù)防性維護(hù)

懸臂軸和特殊的異型轉(zhuǎn)子便于顆粒的處理

在節(jié)省電機(jī)功率的同時(shí)程度提高了工作繁重的 CVD 應(yīng)用條件下的穩(wěn)定性

耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體

較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證

軸桿一體化設(shè)計(jì)無需電機(jī)聯(lián)軸器，第五抽排級(jí)免除對(duì)消音器的需求，也避免了顆粒堆積，兩者均減少了總體占地空間

泵系列

實(shí)踐證明，Edwards 高級(jí)半導(dǎo)體真空泵能夠達(dá)到運(yùn)行標(biāo)準(zhǔn)。通過延長使用壽命、提高運(yùn)行時(shí)間并提高生產(chǎn)率，同時(shí)程度地減小占地面積、降低運(yùn)行成本，實(shí)現(xiàn)了高的可靠性和性能。 

iH 系列為難以執(zhí)行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。

iH80

iH160

iH600

iH1000

iH1800

iH1800HTX