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昆山熙日機(jī)械設(shè)備有限公司 
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店齡4年 · 企業(yè)認(rèn)證 · 江蘇省蘇州市 昆山熙日機(jī)械設(shè)備有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： 愛(ài)德華真空泵維修, 萊寶真空泵油, 愛(ài)發(fā)科真空泵維修, 普發(fā)真空泵維修
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荏源EV-M20N半導(dǎo)體真空泵宿遷真空泵維修徐州EBARA半導(dǎo)體真空泵維修
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商品參數(shù)
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商品介紹
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聯(lián)系方式
產(chǎn)品特性 耐腐蝕
是否進(jìn)口 Array
產(chǎn)地 日本
加工定制 Array
品牌 EBARA
型號(hào) EV-M20N
用途 抽真空
尺寸 234*224*115cm
電源電壓 200、400V
商品介紹
EV-M型
節(jié)能、高負(fù)荷工藝的選擇的干式真空泵
產(chǎn)品介紹
以荏原高溫技術(shù)，在半導(dǎo)體、液晶和太陽(yáng)能電池制造工藝中，滿足發(fā)生反應(yīng)副產(chǎn)物的高負(fù)荷工藝要求。通過(guò)高度的節(jié)能性能，同時(shí)滿足高負(fù)荷工藝要求和節(jié)能要求。標(biāo)配耐腐蝕性材料，提供110,000L/min的大排氣量機(jī)型。通過(guò)滿足工藝條件要求的豐富產(chǎn)品陣容，能夠滿足大范圍的高負(fù)荷工藝要求。
規(guī)格
| 設(shè)備名稱 | 單位 | EV-M20N | EV-M102N | EV-M202N | EV-M302N | EV-M502N | EV-M505SF | EV-M802N | EV-M805SF | EV-M1205SF | |
| 排氣速度 | L/min | 1,800 | 10,000 | 20,000 | 30,000 | 50,000 | 50,000 | 80,000 | 80,000 | 110,000 | |
| 極限壓力 | Pa | 5.0 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | |
| 連接口徑 | 吸氣口 | NW40 | ISO100 | ISO100 | ISO100 | ISO160 | ISO160 | ISO200 | ISO200 | ISO200 | |
| 排氣口 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | ||
| 極限壓力時(shí)功率概值 | kW | 1.2 | 1.8 | 1.9 | 2.3 | 2.1 | 3.9 | 2.8 | 4.6 | 5.3 | |
| 冷卻水 | 流量 | L/min | 3~8 | 3~8 | 3.5~8 | 4~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 |
| 溫度 | ℃ | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | |
| N2 | 流量 | Pa?m3/s | 26~31 | 26~31 | 26~31 | 26~31 | 28~33 | 228 | 28~33 | 228 | 34~35 |
| 電源 相／電壓／頻率 | 200V機(jī)型 | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | |
| 400V機(jī)型 | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | - | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | ||
| 電源容量 | kVA | 3.3 | 5.4 | 6.0 | 6.8 | 7.1 | 15.7 | 8.3 | 19.4 | 14.2 | |
| 質(zhì)量概值 | kg | 170 | 320 | 360 | 400 | 500 | |||||
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公司名稱 昆山熙日機(jī)械設(shè)備有限公司
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地址 江蘇省蘇州市
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