北京科儀創(chuàng)新真空技術(shù)有限公司
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主營產(chǎn)品: 其他電子測(cè)量?jī)x器
氫燃料儲(chǔ)罐氦檢漏設(shè)備-科儀創(chuàng)新-氫燃料儲(chǔ)罐氦檢漏設(shè)備公司
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氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式有那些
氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種,一種為常規(guī)檢漏,另一種為逆擴(kuò)散檢漏。
逆擴(kuò)散檢漏是把被檢件接在分子泵出氣口一端,漏入的氦氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進(jìn)入安裝在泵的進(jìn)氣口端的質(zhì)譜管內(nèi)而被檢測(cè)。這一檢漏方式是基于分子泵對(duì)不同質(zhì)量的氣體具有不同壓縮比(氣體在分子泵出氣口壓強(qiáng)與進(jìn)氣口壓強(qiáng)之比)即利用不同氣體的逆擴(kuò)散程度不同程度而設(shè)計(jì)的。
氦質(zhì)譜檢漏儀逆擴(kuò)散原理
逆擴(kuò)散方式檢漏允許被檢件內(nèi)壓強(qiáng)較高,氦質(zhì)譜檢漏儀可達(dá)1000Pa(一般常規(guī)檢漏儀為0.05Pa以下),適合檢大型容器或有大漏的器件,也適合吸槍檢漏。逆擴(kuò)散方式還具有質(zhì)譜管不易受污染,燈絲壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn)。
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氦質(zhì)譜檢漏儀的結(jié)構(gòu)和工作原理
氦質(zhì)譜檢漏儀是180°磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計(jì),其基本原理是根據(jù)離子在磁場(chǎng)中運(yùn)動(dòng)時(shí),不同質(zhì)荷比的離子具有不同的偏轉(zhuǎn)半徑來實(shí)現(xiàn)不同種類離子的分離。檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)及電氣控制部分組成。檢漏工作時(shí)先打開抽空閥前級(jí)泵對(duì)檢漏接口抽真空,當(dāng)真空度P1 優(yōu)于200 Pa 時(shí),打開入口閥1、2,關(guān)閉抽空閥,氦氣將逆著分子泵的抽氣方向進(jìn)入質(zhì)譜室中被檢測(cè)出來,此時(shí)檢漏儀的較小可檢漏率為10- 10 Pa·m3/s。前級(jí)泵繼續(xù)對(duì)檢漏接口抽真空,當(dāng)P1降至20 Pa 時(shí),入口閥2 關(guān)閉,入口閥3 打開,分子泵的高抽速用于抽空試件,檢漏儀的反應(yīng)時(shí)間縮短,此時(shí)檢漏儀的較小可檢漏率為10- 12 Pa·m3/s。
科儀擁有先進(jìn)的技術(shù),我們都以質(zhì)量為本,信譽(yù)高,我們竭誠歡迎廣大的顧客來公司洽談業(yè)務(wù)。如果您對(duì)氦檢漏感興趣,歡迎點(diǎn)擊左右兩側(cè)的在線客服,或撥打咨詢電話。
真空箱法氦質(zhì)譜檢漏的原理與系統(tǒng)特點(diǎn)
真空箱法氦質(zhì)譜檢漏的充氣回收檢漏系統(tǒng)
1.配置與氣路控制
真空箱:一般為雙工位,兩個(gè)不銹鋼真空箱,開門裝置可采用液壓方式,或加配重的手動(dòng)方式。
工件抽空系統(tǒng):低真空泵及閥門,低真空測(cè)量充氮與回收系統(tǒng):氦氣儲(chǔ)存罐(高壓罐),氦氣回收取罐(低壓罐),主壓縮機(jī),輔壓縮機(jī),過濾器以及一些高壓閥和真空閥門等。
真空箱抽氣系統(tǒng):為自動(dòng)控制型,由面板、PLC系統(tǒng)(可編程邏輯控制器),充氦回收系統(tǒng),真空箱抽氣系統(tǒng)的電路部分以及為自動(dòng)檢漏過程提供參考信號(hào)的壓力傳感器和熱偶計(jì),同時(shí),實(shí)施對(duì)整個(gè)系統(tǒng)的工作控制,對(duì)檢漏過程和結(jié)果顯示。
2.系統(tǒng)檢測(cè)過程
1)、通過v1、V4,泵系統(tǒng)對(duì)工件和真空箱抽真空,如果限定的時(shí)間內(nèi)抽到限定的真空度,此時(shí),電氣控制系統(tǒng)關(guān)閉V1,打開V2
2)、充氦系統(tǒng)通過V2對(duì)工件進(jìn)行充氦至核定的壓力,穩(wěn)定,關(guān)閉V2
3)、關(guān)閉V4,打開V3、V5,處在正常工作狀態(tài)待命的氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)行檢漏,如果不漏,電氣控制系統(tǒng)指揮關(guān)斷V3、V5,打開V2對(duì)氦氣進(jìn)行回收。
4)、關(guān)閉V2打開V6對(duì)真空箱放氣,開啟真空箱更換工件。
5)、如果第三點(diǎn)檢漏儀檢測(cè)到超過設(shè)定值(漏率)的工件,檢漏儀聲光報(bào)警,將:工作內(nèi)的氦氣回收,對(duì)真空箱和管道巾的氦氣通過清潔泵抽除,免得影響檢漏儀的檢測(cè)效果和不污染檢漏儀。
6)、維持泵有一定的氦分流作用,不宜過大(不超過41),清潔泵也同樣。
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