北京科創(chuàng)鼎新真空技術(shù)有限公司主營(yíng)：氦檢漏設(shè)備,氦質(zhì)譜檢漏儀,LNG抽真空設(shè)備

壓力容器氦檢漏技術(shù)

什么是氦質(zhì)譜儀？

專門設(shè)計(jì)的把氦示蹤氣體進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀稱為氦質(zhì)譜檢漏儀。氦質(zhì)譜檢漏儀的原理是，當(dāng)一個(gè)帶電質(zhì)點(diǎn)（正離子）以一定速度V進(jìn)入均勻磁場(chǎng)的分析器中后，如果速度V的方向和磁場(chǎng)H的方向相垂直，它的運(yùn)動(dòng)軌跡為圓，不同質(zhì)合比（m/e）的粒子在磁場(chǎng)中有相應(yīng)的運(yùn)動(dòng)軌跡，這樣，不同荷質(zhì)比的帶電粒子在磁場(chǎng)運(yùn)動(dòng)后會(huì)分開，如果在粒子運(yùn)動(dòng)路徑中安裝一塊擋板將其他粒子擋掉，而在氦粒子的運(yùn)動(dòng)路徑開一個(gè)狹縫而被接收極接收形成氦離子流，并經(jīng)過(guò)放大器放大而被測(cè)量?jī)x指示出來(lái)。檢漏時(shí)，氦氣進(jìn)入檢漏儀氦質(zhì)譜室中，使儀器發(fā)生靈敏的反應(yīng)，產(chǎn)生檢漏的作用。

由于空氣中氦氣，氦質(zhì)譜儀的本底電流及噪音也很少，因此可將示漏氦氣的信號(hào)盡量放大而不怕空氣的影響，這樣可以測(cè)出極為弱小的訊號(hào)，從而檢出的漏孔；由于氦氣是惰性氣體，具有分子小，質(zhì)量輕，擴(kuò)散快，穿透性強(qiáng)，響應(yīng)快且穩(wěn)定，加之不起化學(xué)作用，不污染工件，操作安全等特點(diǎn)，導(dǎo)致使用氦質(zhì)譜檢漏儀技術(shù)（簡(jiǎn)稱氦檢漏技術(shù)）日益受到重視。

氦質(zhì)譜儀的整體結(jié)構(gòu)

質(zhì)譜室

形象的說(shuō)，質(zhì)譜室是氦質(zhì)譜檢漏的心臟，由離子源、分析器和電氣系統(tǒng)三個(gè)部分組成，并將冷陰極磁控規(guī)也放在其內(nèi)，共用其磁場(chǎng)。為了有利于微小的粒子流放大，將級(jí)放大用高阻及靜電計(jì)管也放在質(zhì)譜室之內(nèi)。質(zhì)譜室殼由非磁性材料制成，內(nèi)部抽空，而外部設(shè)置磁鐵形成磁分析器的磁場(chǎng)。

真空系統(tǒng)

真空系統(tǒng)是提供質(zhì)譜室正常工作的條件。由于鎢陰極正常工作時(shí)需要具備0.001-0.01Pa的真空度，同時(shí)保證氦離子在分析器中的運(yùn)動(dòng)有較高的傳輸率，因此建立一個(gè)高真空系統(tǒng)是必要的。系統(tǒng)中的節(jié)能閥則是為了滿足質(zhì)譜室工作壓力的調(diào)節(jié)，該閥全開時(shí)檢漏靈敏度高，因此在條件允許情況下開啟大些為宜。檢漏時(shí)為了校準(zhǔn)檢漏靈敏度，系統(tǒng)中設(shè)置了標(biāo)準(zhǔn)漏孔。

電氣系統(tǒng)

氦質(zhì)譜儀電氣部分的是質(zhì)譜室的供電和測(cè)量，其他部分包括真空系統(tǒng)的電源與控制部分，操縱面板及輸出儀表等。主要含有小電流放大器及輸出裝置、低頻發(fā)生器、高壓整流器及發(fā)射電流穩(wěn)定裝置、高壓整流器供給冷陰極磁控規(guī)電源。

輔助真空系統(tǒng)的配置

在氦質(zhì)譜儀檢漏技術(shù)中，根據(jù)被檢件的結(jié)構(gòu)，尺寸要求和具體的檢漏條件，設(shè)置具有預(yù)抽被檢件、保證檢漏儀工作真空度、進(jìn)體分流、縮短反應(yīng)時(shí)間和清除時(shí)間、降低對(duì)靈敏度的不良影響等功能的輔助真空系統(tǒng)，在某些條件下是非常必要的。

標(biāo)準(zhǔn)漏孔

使用氦質(zhì)譜儀的時(shí)候是否氦質(zhì)譜儀能通過(guò)自檢，那就認(rèn)為這臺(tái)氦質(zhì)譜檢漏儀是正常的呢？其實(shí)不然，氦質(zhì)譜儀能通過(guò)自檢，只是說(shuō)明，氦質(zhì)譜儀本身基本沒(méi)有問(wèn)題。但是，氦質(zhì)譜儀是否準(zhǔn)確？這個(gè)不確定。

為什么氦質(zhì)譜儀要用外置標(biāo)準(zhǔn)漏孔標(biāo)定

輸入錯(cuò)誤的內(nèi)置漏孔漏率值，氦質(zhì)譜儀自檢時(shí)一般也能通過(guò)，說(shuō)明氦質(zhì)譜儀是對(duì)比性測(cè)試設(shè)備，氦質(zhì)譜儀本身并不知道檢漏信號(hào)對(duì)應(yīng)的漏率是多少，必須要有參照物——標(biāo)注漏孔來(lái)確定。

因此，現(xiàn)有氦檢漏相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)中都詳細(xì)規(guī)定了氦質(zhì)譜檢漏儀在使用前，使用過(guò)程中和使用后要正確使用標(biāo)準(zhǔn)漏孔進(jìn)行標(biāo)漏，才能保證氦檢漏結(jié)果的正確性。