云南恒云凈化工程有限公司
主營產(chǎn)品: 環(huán)保項目合作
十萬級潔凈車間-恒云-GMP潔凈車間造價
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凈化車間是為了滿足半導(dǎo)體制造工藝需求的潔凈室,該無塵車間對環(huán)境潔凈度、溫濕度控制等都有一定的要求。相對于其他工業(yè)潔凈室,集成電路制造無塵車間有面積大、潔凈等級高、溫濕度控制精度高等特點。
根據(jù)潔凈室車間空氣循環(huán)特點可以將潔凈室分為三種類型:循環(huán)空調(diào)機配合高效送風(fēng)口系統(tǒng)、循環(huán)風(fēng)機配合濕式密封系統(tǒng)和FFU循環(huán)系統(tǒng)。
FFU循環(huán)系統(tǒng)的特點是:整個潔凈室由靜壓層、工藝層、工藝輔助層和回風(fēng)通道組成,由FFU提供循環(huán)空氣的動力,將新風(fēng)、循環(huán)風(fēng)混合后通過超高效過濾器送入工藝層和工藝輔助層,靜壓層相對于工藝層為負(fù)壓。此外,還有生產(chǎn)輔助區(qū)為集成電路制造廠務(wù)設(shè)備區(qū)域,包括電力供應(yīng)、氣體和化學(xué)品供應(yīng)、超純水供應(yīng)等。
云南恒云凈化工程有限公司是一家空氣凈化空調(diào)設(shè)備安裝專業(yè)公司。
基礎(chǔ)的承受能力按大于機組總重量的1.2倍進(jìn)行考慮,務(wù)必注意承載體的強度和可靠性,否則將有重大隱患;基礎(chǔ)高度應(yīng)高于機房地平面200-300mm,小型號機組基礎(chǔ)取小值,機組外形尺寸長寬各大于機組外形尺寸長寬50-100mm;基礎(chǔ)表面應(yīng)平整、光潔,其對角線水平誤差以不超過5mm為宜,如基礎(chǔ)不水平,可能會導(dǎo)致冷凝水排放不暢,造成漏水;對于安裝在地面上的機組,為減少機組振動的傳遞,建議在機組底座下放置減振膠墊。