北京科創(chuàng)鼎新真空技術有限公司主營：氦檢漏設備,氦質譜檢漏儀,LNG抽真空設備

氦氣檢漏的主要技術性能

1.真空箱尺寸根據(jù)電芯尺寸確定;

2.一般為三箱聯(lián)動系統(tǒng)，生產(chǎn)節(jié)拍可滿足單臺6PPM—12PPM；

3.開門方式，可根據(jù)用戶生產(chǎn)工藝要求來設計，一般為平開門式、滑臺合箱式；

4.上下料采用機械手或機器人，正常生產(chǎn)時設備無需人工操作；

5.系統(tǒng)配置二維碼掃描裝置，可將每個電芯的檢測數(shù)據(jù)對應存儲；

6.具有清氦功能

7.具有氦氣回收功能（此功能可選）

8.自動判斷，并對應放置（即不合格品放于不合格線，合格品放于合格線）

9.可通過觸摸屏設置不同等級密碼，更改設備參數(shù)；

10.人機交互界面，觸摸屏實時反映運行狀態(tài)和測試數(shù)據(jù)；

11.故障統(tǒng)計功能

12.系統(tǒng)采用配置和標準化設計制作，確保運行穩(wěn)定，性能可靠。

今天和大家分享的是氦氣檢漏的性能指標，想了解更多產(chǎn)品信息您可撥打圖片上的電話進行咨詢！

氦氣檢漏設備主要技術指標

實際使用氦氣檢漏設備時，其較小可檢出泄漏率為5×10-13Pa·m3 / s； 泄漏率顯示的范圍為1×10-3—1×10-13Pa·m3 / s。; 啟動時間保持在小于等于3min的范圍內； 響應時間小于或等于1。0s; 檢漏口較大壓力：1000Pa； 電源需要220v，50Hz，單相，10A。

使用氦氣檢漏設備時，請注意其機械泵的抽速為4L / S； 工作環(huán)境要求為5-40℃； 應注意相對濕度必須小于或等于80％; 尺寸：600（W）×550（D）×1000（H）; 通常重量將保持在65kg。 關于氦氣檢漏設備，應注意其配備了標準氦氣檢漏裝置，包括更詳細的校準報告。

氦質譜檢漏儀的基本原理與結構

氦質譜檢漏儀一般由質譜管,真空系統(tǒng)和電子系統(tǒng)組成。其中質譜管包括離子源，質量分析器和離子檢測器;真空系統(tǒng)-般由分子泵機械泵、電磁閥和真空計組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束，以-定能量注入質分析器，目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質分析器的作用起將各類離子按其質荷比的不同實現(xiàn)分離。子檢測器的作用是手機質星分析器所選定的氦離子流并加以放大，再通過比對運算，得出泄漏率

真空系統(tǒng)的作用是獲取質譜過程所需的真空，同時完成被檢件的抽空和氦氣的引入?？障到y(tǒng)-般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成組成。按照真空系統(tǒng)的不同結構，檢漏儀分為常規(guī)系統(tǒng)和逆擴散兩種。常規(guī)系統(tǒng)多用于早期的氦質譜檢漏儀,該種檢漏儀的被檢件與高真空部分直接相通，由被檢件泄入的氮氣首先到達質譜管被檢到，因而具有較高的靈敏度,但是會對質譜管有污染。逆擴散系統(tǒng)檢漏儀與常規(guī)系統(tǒng)相比，被檢件只與低真空相通,因

此只需將被檢工件抽至低真空就能進行檢漏，氦氣是逆擴散到質譜管,不會對系統(tǒng)有污染,因此被廣泛采用,已成為市場的主品。

機械泵的工作方式不-樣,分為干泵檢漏儀和油泵檢漏儀，油泵工作會有油霧排出,污染工作環(huán)境，干泵沒有油霧排出對工作環(huán)境沒有影響。在半導體潔凈車間都是使用干泵檢漏儀。