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★王文強(qiáng)

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--------深圳市扎克貿(mào)易有限公司-------

--------專注歐美進(jìn)口工業(yè)備件---------

結(jié)構(gòu)監(jiān)測(cè)和建筑材料生產(chǎn)

由于需求不斷增加，基礎(chǔ)設(shè)施結(jié)構(gòu)承受越來越大的壓力，必須不斷評(píng)估安全性和使用壽命。因此，需要傳感器提供有關(guān)承重安全性、適用性和疲勞安全性的可靠信息。Micro-Epsilon 提供多種傳感器，用于結(jié)構(gòu)的檢查、監(jiān)控和自動(dòng)化以及建筑材料生產(chǎn)中的在線測(cè)試。這些傳感器以其在惡劣環(huán)境中使用的穩(wěn)定性、精度和魯棒性而令人印象深刻。

橋梁和風(fēng)力渦輪機(jī)的距離監(jiān)測(cè)

optoNCDT ILR2250 激光距離傳感器用于橋梁、建筑物和風(fēng)力渦輪機(jī)的距離測(cè)量。其重量輕且設(shè)計(jì)緊湊，可將傳感器連接到無人機(jī)上。

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半導(dǎo)體行業(yè)的測(cè)量任務(wù)需要最高的精度和可重復(fù)性。Micro-Epsilon 為從精密機(jī)器定位和晶圓檢測(cè)到形貌測(cè)量的眾多應(yīng)用提供了正確的解決方案。

光刻機(jī)中的納米定位

為了照亮晶片上的各個(gè)組件，光刻設(shè)備將晶片移動(dòng)到相應(yīng)的位置。電容式位移傳感器測(cè)量行進(jìn)路徑的位置，以便...

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使用白光干涉儀定位晶圓臺(tái)

Micro-Epsilon 的白光干涉儀 IMS5600 用于晶片臺(tái)的位置監(jiān)測(cè)。它以極高的加速度測(cè)量載物臺(tái)的 XYZ 運(yùn)動(dòng)。高精度...

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硅錠尺寸檢測(cè)

Micro-Epsilon 的激光輪廓掃描儀用于檢查硅錠的幾何形狀。這些檢測(cè)硅棒的完整幾何形狀。這允許硅塊的幾何偏差......

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晶圓的彎曲和翹曲

共焦彩色傳感器掃描晶片表面以檢測(cè)彎曲、翹曲和變形。confocalDT 控制器提供 70 kHz 的測(cè)量速率，可實(shí)現(xiàn)高度動(dòng)態(tài)的測(cè)量，允許晶圓...

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晶圓的 3D 形狀測(cè)量

反射控制偏轉(zhuǎn)測(cè)量系統(tǒng)用于檢測(cè) 150 毫米晶圓的平整度或平面度。這些僅用一張圖像測(cè)量平整度。為此，傳感器會(huì)投射條紋......

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硅片上凸點(diǎn)的識(shí)別與測(cè)量

Micro-Epsilon 的共焦色位移傳感器用于檢查凸點(diǎn)。它們?cè)诰A上產(chǎn)生一個(gè)小光點(diǎn)，同時(shí)可靠地檢測(cè)最小的零件和結(jié)構(gòu)......

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在晶圓處理期間確定位置

處理晶圓時(shí)，精確且可重復(fù)的定位至關(guān)重要。在晶圓進(jìn)給期間，兩個(gè) optoCONTROL 激光測(cè)微計(jì)檢查直徑，從而確定水平位置。謝謝 ...

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光刻中掩模的定位

光刻工藝需要對(duì)機(jī)器運(yùn)動(dòng)進(jìn)行高分辨率和長(zhǎng)期測(cè)量，以實(shí)現(xiàn)最大精度。高分辨率可使用 ...

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鋸痕的檢測(cè)和測(cè)量

為了自動(dòng)檢測(cè)和測(cè)量鋸痕，使用 Micro-Epsilon 的共焦彩色傳感器?？刂破鞯目焖俦砻嫜a(bǔ)償功能可調(diào)節(jié)曝光周期，以便...

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透明層和粘合劑珠

共焦色度傳感器用于單側(cè)層厚度測(cè)量。共焦測(cè)量原理可以評(píng)估多個(gè)信號(hào)峰，從而允許透明材料的厚度......

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使用電容式傳感器定位晶圓臺(tái)

電容式位移傳感器用于晶圓臺(tái)上的精細(xì)定位任務(wù)。這些傳感器在不同點(diǎn)測(cè)量載物臺(tái)的位置，這對(duì)于精細(xì)對(duì)準(zhǔn)特別有用。...

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光刻機(jī)中透鏡系統(tǒng)的定位

非接觸式感應(yīng)位移傳感器（渦流）測(cè)量鏡頭元件的位置，以實(shí)現(xiàn)盡可能高的成像精度。根據(jù)鏡頭系統(tǒng)，位移傳感器...

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用于光刻掩模定位的白光干涉儀

光刻工藝需要對(duì)機(jī)器運(yùn)動(dòng)進(jìn)行高分辨率和長(zhǎng)期穩(wěn)定測(cè)量，以實(shí)現(xiàn)最大精度。由于特殊的評(píng)估算法和主動(dòng)溫度...

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定位晶圓臺(tái)

Micro-Epsilon 的非接觸式傳感器用于晶圓載物臺(tái)的位置監(jiān)控，它們測(cè)量加速非常快速的載物臺(tái)的高度動(dòng)態(tài) XYZ 運(yùn)動(dòng)。電容式和電感式...

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檢查裂紋和破損

Micro-Epsilon 的共焦彩色傳感器用于檢測(cè)晶片上的裂紋和其他缺陷。由于快速的表面補(bǔ)償，它們可靠地檢測(cè)具有不同反射特性的表面......

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檢查鏡頭托架的傾斜角度

電容式位移傳感器以納米精度測(cè)量透鏡支架的傾斜角。由于高精度測(cè)量，可確保可重復(fù)的投影。幾個(gè)傳感器測(cè)量...

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使用共焦色度傳感器監(jiān)控鏡頭的對(duì)齊情況

共焦色度傳感器用于測(cè)量鏡頭的對(duì)準(zhǔn)度。幾個(gè)傳感器直接在鏡頭上進(jìn)行測(cè)量，以檢測(cè)到納米精度的傾斜角。與電磁傳感器不同，共焦...

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檢查硅錠上的取向缺口

錠通常設(shè)有定向凹口，這是錠對(duì)齊所必需的。Micro-Epsilon 的藍(lán)色激光掃描儀用于檢查凹口輪廓的尺寸...

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晶圓的傾斜角度測(cè)量

晶片的準(zhǔn)確位置在晶片處理中起著重要作用。在晶圓進(jìn)料期間，白光干涉儀測(cè)量晶圓的水平傾斜角。兩個(gè)干涉儀...

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監(jiān)測(cè)內(nèi)孔鋸的軸向運(yùn)動(dòng)

內(nèi)孔鋸用于切割硅錠。為了實(shí)現(xiàn)錠的可靠分離，使用渦流傳感器監(jiān)測(cè)鋸片或支架。四個(gè)傳感器測(cè)量距離...

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監(jiān)測(cè)線鋸的偏轉(zhuǎn)

線鋸僅用于一步切割鋼錠。由于線受到強(qiáng)烈磨損，因此使用非接觸式渦流傳感器在多個(gè)點(diǎn)監(jiān)測(cè)線床。這些不僅檢測(cè)...

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使用波前傳感器監(jiān)控光學(xué)系統(tǒng)

Optocraft 的 Shack-Hartmann 波前傳感器測(cè)量整個(gè)光學(xué)系統(tǒng)的對(duì)準(zhǔn)狀態(tài)和成像質(zhì)量。穩(wěn)健的測(cè)量原理允許機(jī)器集成和自動(dòng)化...

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晶圓厚度測(cè)量 / TTV

共焦色度傳感器從兩側(cè)測(cè)量厚度偏差（總厚度變化）和晶圓厚度。基于晶片厚度分布，可以檢測(cè)晶片的彎曲和翹曲。...

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硅片的高精度厚度測(cè)量

電容式位移傳感器用于晶圓的精確厚度測(cè)量。兩個(gè)相對(duì)的傳感器檢測(cè)厚度并確定其他參數(shù)，例如偏轉(zhuǎn)或鋸痕。

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