北京科創(chuàng)鼎新真空技術(shù)有限公司主營：氦檢漏設(shè)備,氦質(zhì)譜檢漏儀,LNG抽真空設(shè)備

氦氣在在半導(dǎo)體中的檢漏作用

為了防止半導(dǎo)體器件、集成電路等元器件的表面因玷污水汽等雜質(zhì)而導(dǎo)致性能退化，就必須采用管殼來密封。但是在管殼的封接處或者引線接頭處往往會因為各種原因而產(chǎn)生一些肉眼難以發(fā)現(xiàn)的小洞，所以在元器件封裝之后，就需要采取某些方法來檢測這些小洞的存在與否。 氦氣檢漏就是采用氦氣來檢查電子元器件封裝管殼上的小漏洞。因為氦原子的尺寸很小，容易穿過小洞而進入到管殼內(nèi)部，所以這種檢測方法能夠檢測出尺寸很小的小洞（即能夠檢測出漏氣速率約為10?11～10?12cm3/sec的小洞），靈敏度可與性檢漏方法匹敵，但要比性檢漏方法簡便。

氦氣檢漏試驗的方法：首先把封裝好的元器件放入充滿氦氣的容器中，并加壓，讓氦氣通過小洞而進入管殼中；然后取出，并用壓縮空氣吹去管殼表面的殘留氦氣；接著采用質(zhì)譜儀來檢測管殼外表所漏出的氦氣。

汽車氦檢漏

充氦方式：箱內(nèi)充氦待檢工件：汽車空調(diào)冷凝器、蒸發(fā)器及管路真空箱數(shù)量：2個真空箱尺寸：1100（長）×550（寬）×250（高）mm，鴨嘴式自動開關(guān)門每箱可檢工件數(shù)量：依據(jù)工件大小而定生產(chǎn)節(jié)拍：可依據(jù)客戶要求而定氦氣是否回收：是，設(shè)備帶回收系統(tǒng)

雙箱聯(lián)動運行，每個真空箱可檢多個工件真空箱翻蓋式結(jié)構(gòu)，自動開關(guān)箱門特殊設(shè)計的夾具與工件相匹配，滿足不同工件的檢測需要一體式設(shè)計，即整臺設(shè)備安裝在一個底座上，設(shè)備移位簡單方便配備堵塞檢測功能，判斷工件是否有堵塞配備電腦及打印機，自動存儲及打印檢測數(shù)據(jù)適用于汽車空調(diào)蒸發(fā)器、冷凝器、管路的氦檢漏方案

氦質(zhì)譜檢漏儀是否有精度級別一說？

氦檢漏有真空法和正壓法，正壓法又分吸法和累積法等，各種方法對應(yīng)的設(shè)備類型和檢測精度都不一樣。關(guān)于問的在空氣中已有氦氣的問題，并不太影響精度，因為氦檢漏是用對比法，先得有標(biāo)準(zhǔn)試樣，然后用測量結(jié)果跟標(biāo)準(zhǔn)試樣對比，來避免本底造成的誤差。質(zhì)譜儀有精度，到也跟測量方法非常相關(guān)。