視頻顯微鏡單元 VMU

■特點(diǎn)

·緊湊、輕巧的相機(jī)觀察專用顯微鏡。

適用于金屬、樹脂、印刷表面、微小運(yùn)動(dòng)物體等各種觀察對(duì)象。

·適用于使用YAG激光(近紅外、可見、近紫外、紫外)的微細(xì)加工。※  

※不保證激光振蕩器配備系統(tǒng)的綜合性能和安全性。

半導(dǎo)體電路的切割、修整、修正、打標(biāo)、薄膜(絕緣膜)的去除和加工、液晶彩色濾光片等的修復(fù)(修正缺陷)等。

·適用于紅外光學(xué)系統(tǒng)。※

※另需紅外光源和紅外攝像機(jī)等。

硅類的內(nèi)部觀察、紅外光譜特征分析等。

大視場(chǎng)視頻顯微鏡單元 WIDE VMU

■特點(diǎn)

·高密度配置多個(gè)單元，可以對(duì)大范圍進(jìn)行集中檢查。

·除了通常的明視場(chǎng)觀察外，還適合用于外觀檢查和劃痕檢查的暗視場(chǎng)觀察，以及具有偏光特性的觀察對(duì)象的偏光觀察。

精密顯微鏡單元 FS70

■特點(diǎn)

·帶目鏡觀察部的小巧顯微鏡單元。

適用于金屬表面和半導(dǎo)體、液晶、樹脂等各種觀察對(duì)象。

·適用于使用YAG激光(近紅外、可見、近紫外、紫外)的微細(xì)加工?！?/span>

※不保證激光系統(tǒng)產(chǎn)品的性能和安全性。

半導(dǎo)體電路的切割、修整、修正、打標(biāo)、薄膜(絕緣膜)的去除和加工、液晶彩色濾光片等的修復(fù)(修正缺陷)等。并適合作為半導(dǎo)體故障分析用探針臺(tái)的光學(xué)觀察部分。

·適用于紅外光學(xué)系統(tǒng)。※

※另需紅外光源和紅外攝像機(jī)等。

硅類的內(nèi)部觀察、紅外光譜特征分析等。

明視場(chǎng)用物鏡

M Plan Apo / M Plan Apo HR

■特點(diǎn)

·無限遠(yuǎn)校正

·明視場(chǎng)觀察用

·長工作距離

·平場(chǎng)復(fù)消色差規(guī)格

明視場(chǎng)用近紅外區(qū)校正 物鏡

明視場(chǎng)用紫外區(qū)校正 物鏡

M Plan UV

■特點(diǎn)

·無限遠(yuǎn)校正

·明視場(chǎng)觀察及激光加工用

·長工作距離

·對(duì)紫外區(qū)(波長266nm)和可見區(qū)(常用觀察波長區(qū))進(jìn)行了校正設(shè)計(jì)。

·重點(diǎn)保證了紫外區(qū)的高透射率。