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廣州蘇盈電子科技-氣體流量控制閥

流量計(jì)轉(zhuǎn)換器中儲(chǔ)存了60多種常規(guī)氣體比熱轉(zhuǎn)換系數(shù)，設(shè)置為基體單一潔凈氣體。但在現(xiàn)場(chǎng)實(shí)際測(cè)量中，介質(zhì)純度并不那么高。雖然流量計(jì)的設(shè)計(jì)精度沒(méi)有下降，但測(cè)量值可能與實(shí)際值有一定的偏差，這也是為什么熱氣體質(zhì)量流量計(jì)適合測(cè)量干氣體的原因；介質(zhì)溫度是熱氣體質(zhì)量流量計(jì)的一大難點(diǎn)。熱式質(zhì)量流量計(jì)一般在測(cè)量氣體時(shí)必須是干燥的氣體，不能含有水分。流體可能產(chǎn)生的沉積、結(jié)垢和凝結(jié)會(huì)影響儀器的性能。熱式質(zhì)量流量計(jì)測(cè)量氣體時(shí)，流體溫度的變化不像體積流量計(jì)隨氣體體積的變化而變化，不影響熱式質(zhì)量流量計(jì)的測(cè)量。

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空氣流量計(jì)是將吸入的空氣流量轉(zhuǎn)換成電信號(hào)的儀器。空氣流量計(jì)的優(yōu)點(diǎn)是壓力損失小，可測(cè)流量范圍大。

熱氣體質(zhì)量流量計(jì)可用于測(cè)量介質(zhì)。熱氣體質(zhì)量流量計(jì)是一種用于測(cè)量各種氣體流量的儀器，不僅具有測(cè)量精度高、穩(wěn)定性好的優(yōu)點(diǎn)，而且在長(zhǎng)期使用中可以提高企業(yè)的使用成本?？諝饬髁坑?jì)的優(yōu)點(diǎn)是壓力損失小，可測(cè)流量范圍大?？諝饬髁坑?jì)的流量與流量之比一般在20:1以上，適用的工業(yè)管徑范圍寬，可達(dá)3m，輸出信號(hào)與被測(cè)流量線性，精度高

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熱分布式儀表使用口徑和流量均較小，較多應(yīng)用于半導(dǎo)工業(yè)外延擴(kuò)散、石油化工微型反應(yīng)裝置、鍍膜工藝、光導(dǎo)纖維制造、熱處理淬火爐等各種場(chǎng)所的氫、氧、氨、燃?xì)獾葰怏w流量控制，以及固體致冷中固體蒸發(fā)等累積量和閥門(mén)制造中泄漏量的測(cè)量等。

通過(guò)實(shí)時(shí)測(cè)量氣體帶走熱量H的大小來(lái)得到氣體的質(zhì)量流量，這就是目前市場(chǎng)上主流的恒溫差熱式。如果把分子的熱量H恒定，實(shí)時(shí)測(cè)量溫度差的大小來(lái)得到氣體質(zhì)量流量，就是恒功率熱式。

傳感器的熱膨脹系數(shù)不同，隨著使用時(shí)間的加長(zhǎng)會(huì)產(chǎn)生老化、龜裂等現(xiàn)象，終會(huì)導(dǎo)致傳感器的測(cè)量精度超差，且難以維持長(zhǎng)期精度。

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價(jià)格相較于科里奧利質(zhì)量流量計(jì)便宜很多。量程比窄是孔板流量計(jì)的一大缺點(diǎn)，但是近年來(lái)蓬勃發(fā)展雙量程孔板流量計(jì)，能將其量程比擴(kuò)大到33倍，而且達(dá)到1.0％不確定度，從而彌補(bǔ)了該缺陷。高純氣體的純度極高，組分的變化完全可以忽略不計(jì)，因此，氣體的密度除了受溫度、壓力及壓縮系數(shù)影響之外，無(wú)其他因素。即使質(zhì)量流速低到0.1Nm/s都有很好的線性。此外還具有快速響應(yīng)的能力。恒功率原理可以檢測(cè)較高的流速變化，在大流速應(yīng)用場(chǎng)合有非常好的表現(xiàn)力，但低流速特性不如恒溫差，其次響應(yīng)時(shí)間相對(duì)于恒溫差較差。

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熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)大都采用開(kāi)路的負(fù)壓空氣標(biāo)定，然后修正到高壓力工況，或者修正到其他氣體，比如氣、二氧化碳、氧氣、氫氣、氨氣等等。修正標(biāo)定必然導(dǎo)致測(cè)量精度不能保證，恒溫差原理具有非常好的的低流量特性，即使質(zhì)量流速低到0.1Nm/s都有很好的線性。此低壓標(biāo)定后的表應(yīng)用在高壓工況，空氣介質(zhì)標(biāo)定后的表應(yīng)用在其他氣體介質(zhì)，測(cè)量精度無(wú)法保證。然后修正到高壓力工況，或者修正到其他氣體，比如氣、二氧化碳、氧氣、氫氣、氨氣等等。

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浸入式 大部分浸入式TMF性能不受安裝姿勢(shì)影響。然而在低流速測(cè)量時(shí)因受管道內(nèi)氣體對(duì)流的熱流影響，使安裝姿勢(shì)顯得重要。因此在低和非常低流速流動(dòng)時(shí)要獲得測(cè)量,熱氣體質(zhì)量流量計(jì)是一種用于測(cè)量各種氣體流量的儀器，不僅具有測(cè)量精度高、穩(wěn)定性好的優(yōu)點(diǎn)，而且在長(zhǎng)期使用中可以提高企業(yè)的使用成本。使用空氣流量計(jì)時(shí)，通過(guò)過(guò)流式流量計(jì)推動(dòng)渦輪葉片轉(zhuǎn)動(dòng)。葉片轉(zhuǎn)速與流過(guò)空氣流量計(jì)的氣量成正比。流量計(jì)口安裝有一特殊設(shè)計(jì)的導(dǎo)流架，隨著流量的增大，對(duì)進(jìn)入流量計(jì)的氣流進(jìn)行加速。采用導(dǎo)向架可以消除渦流、非對(duì)稱(chēng)流等潛在流體擾動(dòng)。同時(shí)，推動(dòng)渦輪葉片的動(dòng)力增加。

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利用流動(dòng)流體傳遞熱量改變測(cè)量管壁溫度分布的熱傳導(dǎo)分布效應(yīng)的熱分布式流量計(jì)曾稱(chēng)量熱式;2)利用熱消散（冷卻）效應(yīng)的金氏定律。又由于結(jié)構(gòu)上檢測(cè)元件伸入測(cè)量管內(nèi)，也稱(chēng)浸入型或侵入型有些在使用時(shí)從管外插入工藝管內(nèi)的儀表稱(chēng)作插入式。

TMF無(wú)活動(dòng)部件，無(wú)分流管的熱分布式儀表無(wú)阻流件，壓力損失很??；帶分流管的熱分布式儀表和浸入性儀表，雖在測(cè)量管道中置有阻流件，但壓力損失也不大。

TMF使用性能相對(duì)可靠。與推導(dǎo)式質(zhì)量流量?jī)x表相比，不需溫度傳感器，壓力傳感器和計(jì)算單元等，僅有流量傳感器，組成簡(jiǎn)單，出現(xiàn)故障概率小。

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熱分布式儀表用于H2 、N2 、O2、CO 、NO等接近理想氣體的雙原子氣體，不必用這些氣體專(zhuān)門(mén)標(biāo)定，直接就用空氣標(biāo)定的儀表，實(shí)驗(yàn)證明差別僅2%左右；用于Ar、He等單原子氣體則乘系數(shù)1.4即可,

熱式質(zhì)量流量計(jì)響應(yīng)慢。

被測(cè)量氣體組分變化較大的場(chǎng)所，因cp值和熱導(dǎo)率變化，測(cè)量值會(huì)有較大變化而產(chǎn)生誤差。

對(duì)小流量而言，儀表會(huì)給被測(cè)氣體帶來(lái)相當(dāng)熱量。

對(duì)于熱分布式TMF，被測(cè)氣體若在管壁沉積垢層影響測(cè)量值，必須定期清洗；對(duì)細(xì)管型儀表更有易堵塞的缺點(diǎn)，一般情況下不能使用。

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熱分布式儀表使用口徑和流量均較小，較多應(yīng)用于半導(dǎo)工業(yè)外延擴(kuò)散、石油化工微型反應(yīng)裝置、鍍膜工藝、光導(dǎo)纖維制造、熱處理淬火爐等各種場(chǎng)所的氫、氧、氨、燃?xì)獾葰怏w流量控制，適用的工業(yè)管徑范圍寬，可達(dá)3m，輸出信號(hào)與被測(cè)流量線性，精度高，可測(cè)量電導(dǎo)率≥1μs/cm的酸、堿、鹽溶液、水、污水、腐蝕性液體和泥漿、礦漿的流體流量。但是空氣流量計(jì)不能測(cè)量氣體、蒸汽和純凈水的流量。