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廣州蘇盈電子科技-氣體質量流量控制器
高純 氣廣泛應用 于各行業(yè) 和工業(yè)生產 中，通常 用空氣分離工藝 來制取 ，用氣態(tài) 性高純氣體通過 管道 或鋼瓶 收集 容器 輸送 給用戶 ，用槽車 運輸 給用戶 。 對于 高純氣體 管道 輸送 工藝 ，貿易 轉換 計量 通常 采用 氣體流量計 ，其公稱 通徑 在50 毫米 至數百 毫米 之間 。 大多數 交接點 交接點 數量 大，結算 額高 ，往往 是由供需雙方 各裝一套 流量計 ，從而 做到 公平 計量 ，萬無一失 。
對于 高純氣體 流量計 的選擇 ，由于 測量 對象 的特點 和傳統 習慣 ，多選用 標準 孔板流量計 ，此類 流量計 有以下 特點 ：1)工作 穩(wěn)定 ，抗干擾能力 強，維修 更換 簡單 方便 。2)流量測量 范圍廣 。測量 的準確性 可以 滿足 氣體 交易 交接 的要求 。

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便于 計量檢定 。 大多數 的檢定 方法 都是 幾何 檢定 ，方法 簡單 ，成本 較低。 有些 供方 (或需方 )要求 在通過 幾何 法檢定 后，再用實流法進行 一次 檢定 。 經驗 證，1套流量計 各環(huán)節(jié) 均合格 ，實流檢定 也能 合格 。5)價格 與科里奧利質量流量計 相比 要便宜很多 。6)量程 比窄是孔板流量計 的一大 缺點 ，但近幾年來 ，雙量程 孔板流量計 的發(fā)展 ，可以 將量程 比擴大 到33 倍，并達到 1.0 %的不確定度 ，彌補 了這一 缺陷 。在采用 差壓式流量計 測量 蒸汽流量時，必須 把氣相差 壓信號 轉化 為凝塊 。
并且 由于 高純氣體 無塵 、無水滴 、無油 污染 ，為高純氣體 的測量 創(chuàng)造 了優(yōu)越 的條件 。



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熱式氣體質量流量計采用熱擴散原理，熱擴散技術是一種在苛刻條件下性能優(yōu)良、可靠性高的技術。一個是速度傳感器，一個是自動補償氣體溫度變化的溫度傳感器。當兩個RTD被置于介質中時，其中速度傳感器被加熱到環(huán)境溫度以上的一個恒定的溫度，另一個溫度傳感器用于感應介質溫度。

能源計量是科學管理能源，實現節(jié)能降耗，提高經濟效益的重要手段。流量儀表是能源計量儀表的重要組成部分，水、人工燃氣、、蒸汽和油品這些常用的能源都使用著數量極其龐大的流量計，它們是能源管理和經濟核算不可缺少的工具。

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流量計一般安裝在管道上，部分存在著拆卸不方便的情況，而且拆下送檢的時間會較長，由此而提出了在線檢測的要求。

熱式氣體質量流量計大都采用開路的負壓空氣標定，然后修正到高壓力工況，或者修正到其他氣體，比如氣、二氧化碳、氧氣、氫氣、氨氣等等。修正標定必然導致測量精度不能保證，低壓標定后的表應用在高壓工況，空氣介質標定后的表應用在其他氣體介質，測量精度無法保證。

被測量氣體組分變化較大的場所，因cp值和熱導率變化，測量值會有較大變化而產生誤差。

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對于熱分布式TMF，被測氣體若在管壁沉積垢層影響測量值，必須定期清洗；對細管型儀表更有易堵塞的缺點，一般情況下不能使用。

熱分布式 大部分熱分布式TMF的流量傳感器可任何姿勢（水平、 垂直或傾斜）安裝，有些儀表只要安裝好后在工作條件壓力、溫度下作電氣零點調整。然而有些型號儀表對安裝姿勢具有敏感性，大部分制造廠會對此就安裝姿勢影響和安裝要求作出說明。例如LDG-□DB系列為減少環(huán)境氣氛對流傳熱影響，只能水平安裝，水平度允差±20。
然而在低流速測量時因受管道內氣體對流的熱流影響，使安裝姿勢顯得重要。


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熱式流量儀表用得利用流動流體傳遞熱量改變測量管壁溫度分布的熱傳導分布效應的熱分布式流量計曾稱量熱式;利用熱消散（冷卻）效應的金氏定律。又由于結構上檢測元件伸入測量管內，也稱浸入型或侵入型有些在使用時從管外插入工藝管內的儀表稱作插入式。

熱分布式 大部分熱分布式TMF的流量傳感器可任何姿勢（水平、 垂直或傾斜）安裝，有些儀表只要安裝好后在工作條件壓力、溫度下作電氣零點調整。
通過實時測量氣體帶走熱量H的大小來得到氣體的質量流量，這就是目前市場上主流的恒溫差熱式。

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熱分布式TMF可測量低流速（氣體0.02~2m/s）微小流量；浸入式TMF可測量低~中偏高流速(氣體2~60m/s)，插入式TMF更適合于大管徑。熱分布式儀表用于H2 、N2 、O2、CO 、NO等接近理想氣體的雙原子氣體，不必用這些氣體專門標定，直接就用空氣標定的儀表，實驗證明差別僅2%左右；用于Ar、He等單原子氣體則乘系數1.4即可；用于其他氣體可用比熱容換算，但偏差可能稍大些。氣體的比熱容會隨著壓力溫度而變，但在所使用的溫度壓力附近不大的變化可視為常數。熱式質量流量計響應慢。

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熱分布式儀表使用口徑和流量均較小，較多應用于半導工業(yè)外延擴散、石油化工微型反應裝置、鍍膜工藝、光導纖維制造、熱處理淬火爐等各種場所的氫、氧、氨、燃氣等氣體流量控制，以及固體致冷中固體蒸發(fā)等累積量和閥門制造中泄漏量的測量等。

通常在主流管道上裝孔板等節(jié)流裝置或均速管，分流部分氣體到流量傳感器進行測量。然而在低流速測量時因受管道內氣體對流的熱流影響，使安裝姿勢顯得重要。因此在低和非常低流速流動時要獲得測量大部分制造廠會對此就安裝姿勢影響和安裝要求作出說明。例如LDG-□DB系列為減少環(huán)境氣氛對流傳熱影響

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熱氣體質量流量計是利用熱傳導原理測量流量的儀器。該儀器通過恒溫差停止測量氣體的質量流量。因此介質溫度與介質的比熱是關鍵參數。流量計轉換器中儲存了60多種常規(guī)氣體比熱轉換系數，設置為基體單一潔凈氣體。但在現場實際測量中，介質純度并不那么高。雖然流量計的設計精度沒有下降，但測量值可能與實際值有一定的偏差，這也是為什么熱氣體質量流量計適合測量干氣體的原因；介質溫度是熱氣體質量流量計的一大難點。工作時，需要將加熱探頭加熱到比介質溫度高50度的狀態(tài)。