北京科創(chuàng)鼎新真空技術(shù)有限公司主營：氦檢漏設(shè)備,氦質(zhì)譜檢漏儀,LNG抽真空設(shè)備

氦質(zhì)譜檢漏原理

氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是以無色、無味的惰性氣體氦氣為示蹤介質(zhì)、以磁質(zhì)譜分析儀為檢測儀器，用于檢漏的一種檢測技術(shù)，它的檢漏靈敏度可達10-14～10-15Pa?m3/s，可以準確確定漏孔位置和漏率。氦質(zhì)譜檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)組件和電子學(xué)控制元件三大部分組成。質(zhì)譜室接在分子泵的高真空端，入口接在分子泵和機械泵之間，利用分子泵對不同氣體具有不同壓縮比的特點，氦氣逆著分子泵的抽氣方向進入質(zhì)譜室。檢漏儀在質(zhì)譜室中將氣體電離,這些離子在加速電場的作用下進入磁場，在洛倫茲力作用下發(fā)生偏轉(zhuǎn),由于不同荷質(zhì)比的離子具有不同的電磁學(xué)特性，偏轉(zhuǎn)半徑各不相同，在擋板的作用下，氦檢漏儀的收集板只允許帶正電的氦離子被接收到，單位時間到達收集板的氦離子對應(yīng)于一個電流信號，這個電流信號正比于進入到達收集板氦離子的數(shù)量，電流信號經(jīng)過放大后顯示在質(zhì)譜儀的顯示面板上，其大小反映了泄漏點的漏率，通過泄漏率大小來確定該位置泄漏程度的大小。

氦質(zhì)譜檢漏儀的示蹤氣體選用氦氣,是因為氦氣具有以下優(yōu)良特性：

①氦氣在空氣中的含量少，體積含量為5.24×10-6，如果氦氣在環(huán)境中的含量超過標(biāo)準，可以比較容易地探測到極微量的氦氣；

②氦分子小、質(zhì)量輕、易擴散、易穿越漏孔、易于檢測也易于清除；

③氦離子荷質(zhì)比小，易于進行質(zhì)譜分析；

④氦氣是惰性氣體，化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定，不會腐蝕和損傷任何設(shè)備；

⑤氦氣無毒，不凝結(jié)，極難容于水。

今天科創(chuàng)真空小編和大家分享的是氦質(zhì)譜檢漏的工作原理，希望對您有所幫助！

真空箱式氦檢漏設(shè)備

在電力行業(yè)高壓環(huán)網(wǎng)柜生產(chǎn)中的應(yīng)用

真空箱式氦檢漏設(shè)備適用對充氣環(huán)網(wǎng)柜（以下簡稱工件）進行真空法檢漏。同步對工件和真空箱抽真空，使工件內(nèi)外壓差不大0.04Mpa，對被檢工件充注氦氣，應(yīng)用真空箱法進行氦質(zhì)譜氣密性檢測，通過該裝置判斷出被檢工件中的合格與不合格。

一、內(nèi)腔表面光潔度（現(xiàn)設(shè)備腔體都是用的熱板）固光潔度鏡面處理達到“▽7”

做為設(shè)備驗收標(biāo)準。

二、腔體外部面板烤漆處理確保色澤均勻、亮度提升，加強筋及焊口、焊接時殘留焊瘤、焊渣、上漆時進行多面拋光研磨處理。

三、設(shè)備腔體部分選用SS304板10mm厚，腔體法蘭選用SS304板成活30mm.加強筋選用30mm*120mm.門面板成活15mm.確保腔體部分厚實、美觀。以此數(shù)據(jù)作為驗收標(biāo)準。

四、設(shè)備外圍護網(wǎng)選用40mm*40mm*5mm方管。網(wǎng)格選用φ8mm*8mm確保護欄厚實美觀。（漆色執(zhí)行用戶技術(shù)要求外觀顏色）

七、控制柜操作臺材料選用2.5mm板材。噴塑涂層外觀噴涂后距離300mm.自然光或40W日光燈下視線與涂層45°角觀察表面平整、光亮、流平性好。桔紋手感不明顯。不得有流痕，麻坑、縮孔、顏料se斑等缺陷，厚度50-80μm。操作臺抽屜進出順滑、平穩(wěn)。依據(jù)以上作為驗收標(biāo)準。

八、工件小車托盤（見設(shè)備圖紙作為驗收依據(jù)）

期望大家在選購氦檢漏設(shè)備時多一份細心，少一份浮躁，不要錯過細節(jié)疑問。想要了解更多氦檢漏設(shè)備的相關(guān)資訊，歡迎撥打圖片上的熱線電話?。?！

氦質(zhì)譜檢漏儀的基本原理與結(jié)構(gòu)

氦質(zhì)譜檢漏儀一般由質(zhì)譜管,真空系統(tǒng)和電子系統(tǒng)組成。其中質(zhì)譜管包括離子源，質(zhì)量分析器和離子檢測器;真空系統(tǒng)-般由分子泵機械泵、電磁閥和真空計組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束，以-定能量注入質(zhì)分析器，目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質(zhì)分析器的作用起將各類離子按其質(zhì)荷比的不同實現(xiàn)分離。子檢測器的作用是手機質(zhì)星分析器所選定的氦離子流并加以放大，再通過比對運算，得出泄漏率

真空系統(tǒng)的作用是獲取質(zhì)譜過程所需的真空，同時完成被檢件的抽空和氦氣的引入?？障到y(tǒng)-般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成組成。按照真空系統(tǒng)的不同結(jié)構(gòu)，檢漏儀分為常規(guī)系統(tǒng)和逆擴散兩種。常規(guī)系統(tǒng)多用于早期的氦質(zhì)譜檢漏儀,該種檢漏儀的被檢件與高真空部分直接相通，由被檢件泄入的氮氣首先到達質(zhì)譜管被檢到，因而具有較高的靈敏度,但是會對質(zhì)譜管有污染。逆擴散系統(tǒng)檢漏儀與常規(guī)系統(tǒng)相比，被檢件只與低真空相通,因

此只需將被檢工件抽至低真空就能進行檢漏，氦氣是逆擴散到質(zhì)譜管,不會對系統(tǒng)有污染,因此被廣泛采用,已成為市場的主品。

機械泵的工作方式不-樣,分為干泵檢漏儀和油泵檢漏儀，油泵工作會有油霧排出,污染工作環(huán)境，干泵沒有油霧排出對工作環(huán)境沒有影響。在半導(dǎo)體潔凈車間都是使用干泵檢漏儀。