美國AE直流電源維修MDX-5K射頻電源維修

北京天浦正達(dá)AE直流電源維修中心可維修故障范圍包括:

無輸出,燒保險(xiǎn),開不了機(jī),面板無顯示修,啟動(dòng)無輸出,輸出電壓不正常,帶不了負(fù)載,模塊壞等

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AE MDX系列直流電源操作

前面板：

AE MDX直流電源操作及接線說明

1）指示燈

Output Power

a)Stop的指示燈亮?xí)r，表示電源已關(guān)閉

b)Start的指示燈亮?xí)r，表示電源已打開Regulation

a)Power的指示燈亮?xí)r，表示電源處于功率模式，設(shè)定值是功率值

b)Current的指示燈亮?xí)r，表示電源處于電流模式，設(shè)定值是電流值

c)Power和Current的指示燈同時(shí)亮?xí)r，表示電源處于電壓模式，設(shè)定值是電壓值

d)Power和Current的指示燈同時(shí)閃時(shí)，表示電源處于未知模式Status

a)Arc指示燈亮?xí)r，表示腔室內(nèi)阻抗過低，輸出電流過電源規(guī)定的大值

b)Setpoint指示燈亮?xí)r，表示電源的輸出值已經(jīng)達(dá)到設(shè)定值

c)Remote指示燈亮?xí)r，表示電源的開關(guān)或設(shè)置值處于遠(yuǎn)控模式

d)Output指示燈亮?xí)r，表示電源已經(jīng)打開

e)Plama指示燈亮?xí)r，表示輸出電流大于10mA

f)Interlock指示燈亮?xí)r，表示互鎖已經(jīng)滿足，若不滿足，則該燈閃爍

Level鍵：用于設(shè)置電源參數(shù)

Display鍵：按改鍵可切換顯示功率、電壓或者電流

撥碼開關(guān)

RAMP，0.1 Sec：開關(guān)置下時(shí)，表示電源輸出從0到設(shè)定值的時(shí)間為0.1秒

RAMP，1.0 Sec：開關(guān)置下時(shí)，表示電源輸出從0到設(shè)定值的時(shí)間為1.0秒

RAMP，10 Sec：開關(guān)置下時(shí)，表示電源輸出從0到設(shè)定值的時(shí)間為10秒C HOLD：開關(guān)置下時(shí)，可縮短一次以后電源輸出值達(dá)到設(shè)定值的時(shí)間ON/OFF：開關(guān)置上時(shí)，表示通過User Port來打開或者關(guān)閉電源，置下時(shí)，表示通過前面板打開或者關(guān)閉電源

AE電源維修常見型號(hào)系列：

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射頻電源設(shè)備維修：刻蝕，RIE,PECVD,ICP,射頻濺射，CVD和PVD等系統(tǒng)

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