北京科創(chuàng)鼎新真空技術(shù)有限公司主營(yíng)：氦檢漏設(shè)備,氦質(zhì)譜檢漏儀,LNG抽真空設(shè)備

真空箱法氦質(zhì)譜檢漏的原理與系統(tǒng)特點(diǎn)

真空箱法氦質(zhì)譜檢漏的充氣回收檢漏系統(tǒng)

1．配置與氣路控制

真空箱：一般為雙工位，兩個(gè)不銹鋼真空箱，開門裝置可采用液壓方式，或加配重的手動(dòng)方式。

工件抽空系統(tǒng)：低真空泵及閥門，低真空測(cè)量充氮與回收系統(tǒng)：氦氣儲(chǔ)存罐(高壓罐)，氦氣回收取罐(低壓罐)，主壓縮機(jī)，輔壓縮機(jī)，過(guò)濾器以及一些高壓閥和真空閥門等。

真空箱抽氣系統(tǒng)：為自動(dòng)控制型，由面板、PLC系統(tǒng)(可編程邏輯控制器)，充氦回收系統(tǒng)，真空箱抽氣系統(tǒng)的電路部分以及為自動(dòng)檢漏過(guò)程提供參考信號(hào)的壓力傳感器和熱偶計(jì)，同時(shí)，實(shí)施對(duì)整個(gè)系統(tǒng)的工作控制，對(duì)檢漏過(guò)程和結(jié)果顯示。

2.系統(tǒng)檢測(cè)過(guò)程

1)、通過(guò)v1、V4，泵系統(tǒng)對(duì)工件和真空箱抽真空，如果限定的時(shí)間內(nèi)抽到限定的真空度，此時(shí)，電氣控制系統(tǒng)關(guān)閉V1，打開V2

2)、充氦系統(tǒng)通過(guò)V2對(duì)工件進(jìn)行充氦至核定的壓力，穩(wěn)定，關(guān)閉V2

3)、關(guān)閉V4，打開V3、V5，處在正常工作狀態(tài)待命的氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)行檢漏，如果不漏，電氣控制系統(tǒng)指揮關(guān)斷V3、V5，打開V2對(duì)氦氣進(jìn)行回收。

4)、關(guān)閉V2打開V6對(duì)真空箱放氣，開啟真空箱更換工件。

5)、如果第三點(diǎn)檢漏儀檢測(cè)到超過(guò)設(shè)定值(漏率)的工件，檢漏儀聲光報(bào)警，將：工作內(nèi)的氦氣回收,對(duì)真空箱和管道巾的氦氣通過(guò)清潔泵抽除，免得影響檢漏儀的檢測(cè)效果和不污染檢漏儀。

6)、維持泵有一定的氦分流作用,不宜過(guò)大(不超過(guò)41),清潔泵也同樣。

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氦質(zhì)譜檢漏儀

鐘罩法

將氦質(zhì)譜檢漏儀與試件用真空橡皮管連接，在試件上用密閉的容器罩住，在容器里充入氦氣，檢漏儀開始檢漏，如果試件有漏點(diǎn)，儀器就可以顯示其漏率;這種方法可以測(cè)量液體儲(chǔ)料罐的漏率，在罐體外罩氦罩采用塑料薄膜，對(duì)罐體進(jìn)行粗抽和預(yù)抽，在用標(biāo)準(zhǔn)漏孔校對(duì)檢漏儀，對(duì)氦罩進(jìn)行充氦，就可以測(cè)出罐體的漏率

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氦檢漏設(shè)備

（1）對(duì)于壓氦法，不需要考慮地球干潔大氣氦分壓的影響。但是如果候檢環(huán)境大氣氦分壓顯著升高，對(duì)于內(nèi)腔有效容積大，且等效標(biāo)準(zhǔn)漏率小的密封器件，會(huì)加大測(cè)量漏率值，所以壓氦結(jié)束后，被檢器件應(yīng)盡快離開壓氦設(shè)備所在的房間。

對(duì)于預(yù)充氦法，地球干潔大氣氦分壓會(huì)使測(cè)量漏率通過(guò)極大值后出現(xiàn)值，且當(dāng)候檢時(shí)間與內(nèi)腔有效容積之比大于100 h/ cm3 時(shí)，值點(diǎn)仍處于分子流范圍，不能靠粗檢法鑒別，所以需輔以壓氦法復(fù)檢，才能防止漏檢。

（3）地球干潔大氣氦分壓會(huì)使預(yù)充氦法候檢時(shí)間的特征點(diǎn)變大，從而擴(kuò)大了需要輔以壓氦法復(fù)檢的范圍，但第二特征點(diǎn)不變，也不影響壓氦法復(fù)檢的結(jié)果。