芯片失效分析檢測 百檢檢測
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芯片失效分析檢測-百檢檢測

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百檢(上海)信息科技有限公司

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商品參數
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商品介紹
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聯系方式
品牌 百檢檢測
類型 檢測服務
用途 芯片失效分析檢測
服務 芯片失效分析檢測
性質 芯片失效分析檢測
商品介紹
      芯片失效分析的作用是針對異常芯片(信號檢測錯誤)進行失效點定位,并結合芯片的原始設計情況判斷芯片失效的機理。做失效分析需要全面的知識,電子、工藝、結構、材料、理化等很多方面都會涉及到。
檢測項目:
芯片失效分析IC集成電路失效分析中:
開封,3D-OM,C-SAM/SAT,2DX-Ray,3DX-Ray,SEM-EDX,OBIRCH/EMMI,RIE,Nanoprobe,ESD(HBM,MM,Latch-up),AFM,SIMS,TOF-SIMS,TEM,XPS,I-V,C-V
檢測范圍:
集成電路、芯片
檢測標準:
GJB 548B-2005
芯片失效分析方法:
01.OM顯微鏡觀測,外觀分析
02.C-SAM/SAT(超聲波掃描顯微鏡)
(1)材料內部的晶格結構,雜質顆粒,夾雜物,沉淀物。
(2)內部裂紋。
(3)分層缺陷。
(4)空洞,氣泡,空隙等。
03.無損檢測,X-Ray檢測IC封裝中的各種缺陷如層剝離、爆裂、空洞以及打線的完整性,PCB制程中可能存在的缺陷如對齊不良或橋接,開路、短路或不正常連接的缺陷,封裝中的錫球完整性。(這幾種是芯片發(fā)生失效后首先使用的非破壞性分析手段),其中有2DX-Ray和3DX-Ray。
04.SEM掃描電鏡/EDX能量彌散X光儀(材料結構分析/缺陷觀察,元素組成常規(guī)微區(qū)分析,精確測量元器件尺寸)。
05.取die,開封使用激光開封機和自動酸開封機將被檢樣品(不適用于陶瓷和金屬封裝)的封裝外殼部分去除,使被檢樣品內部結構暴露。
06.OBIRCH/EMMI(微光顯微鏡/OBIRCH鐳射光束誘發(fā)阻抗值變化測試)/Thermal熱點偵測(這三者屬于常用漏電流路徑分析手段,尋找發(fā)熱點,LC要借助探針臺,示波器)
07.切割制樣:使用切割制樣模塊將小樣品進行固定,以方便后續(xù)實驗進行。
08.去層:使用等離子刻蝕機(RIE)去除芯片內部的鈍化層,使被檢樣品下層金屬暴露,如需去除金屬層觀察下層結構,可利用研磨機進行研磨去層。
09.FIB做一些電路修改,切點觀察。
10.Probe Station探針臺/Probing Test探針測試。
11.ESD/Latch-up靜電放電/閂鎖效用測試(有些客戶是在芯片流入客戶端之前就進行這兩項可靠度測試,有些客戶是失效發(fā)生后才想到要篩取良片送驗)這些已經提到了多數常用手段。
除了常用手段之外還有其他一些失效分析手段,原子力顯微鏡AFM,二次離子質譜SIMS,飛行時間質譜TOF-SIMS,透射電鏡TEM,場發(fā)射電鏡,場發(fā)射掃描俄歇探針,X光電子能譜XPS,L-I-V測試系統(tǒng),能量損失X光微區(qū)分析系統(tǒng)等很多手段,不過這些項目不是很常用。
以上文章內容為部分列舉,更多檢測需求及詳情免費咨詢機構在線顧問:15201733840(電話及微信),做檢測上百檢網-出具權威檢測報告具有法律效力。
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