國產(chǎn)單面雙面光刻機URE-2000/A型紫外光刻機URE-2000/35
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國產(chǎn)單面雙面光刻機URE-2000/A型紫外光刻機URE-2000/35

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商品參數(shù)
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商品介紹
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品牌 國產(chǎn)
功能 接觸式光刻
尺寸 4、6、8寸晶圓
分辨率 2um以內(nèi)
電壓 220V
商品介紹

產(chǎn)品名稱：URE-2000S/A型紫外光刻機


主要技術(shù)指標(biāo)：

  曝光面積：150mm×150mm
  分辨力：1μm（膠厚1.5 μm的正膠）
  對準精度：±3μm（雙面）
  膠厚：500μm（SU8膠）
  掩模尺寸:3inch、4 inch、5 inch、7 inch
  樣片尺寸：直徑Ф30mm--Ф150mm 厚度0.1mm--6mm(可擴展為15mm)
  照明均勻性：±3.5%Ф100mm) ±5.5%(Ф150mm)
  汞燈功率：1000W（直流）

  掩模相對于樣片運動行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°

產(chǎn)品名稱：URE-2000/35型紫外光刻機


主要技術(shù)指標(biāo)：

曝光面積：100mm×100mm
分辨力：1um（膠厚1.5μm的正膠）
對準精度：±0.8μm
膠厚：300μm（SU8膠）
掩模尺寸:2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch
樣片尺寸：直徑Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可擴展為15mm)；
照明均勻性：±4%（Ф100mm 范圍）
汞燈功率：350W（直流）
掩模相對于樣片運動行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°


產(chǎn)品名稱：URE-2000/A型紫外光刻機


主要技術(shù)指標(biāo)：

  曝光面積：150mm×150mm
  分辨力：0.8～1μm（膠厚1.5μm的正膠）
  對準精度：±0.6μm
  膠厚：500μm（SU8膠）
  掩模尺寸:3inch、4inch、5inch、7inch
  樣片尺寸：直徑Ф15mm-Ф150mm、厚度0.1mm-6mm
  照明均勻性：±3.5%Ф100mm)；±5.5%(Ф150mm)
  汞燈功率：1000W（直流）
  掩模相對于樣片運動行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°

產(chǎn)品名稱：URE-2000/B型紫外光刻機

主要技術(shù)指標(biāo)：

  曝光面積：110mm×110mm
  分辨力：0.8～1μm（膠厚1.5μm的正膠）
  對準精度：±0.6μm
  膠厚：600μm（SU8膠）
  掩模尺寸:2.5inch、3inch、4inch、5inch
  樣片尺寸：直徑Ф15mm-Ф100mm、厚度0.1mm-6mm
  照明均勻性：±3.5%Ф100mm)；±5.5%(Ф150mm)
  汞燈功率：1000W（直流）
  掩模相對于樣片運動行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°



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公司名稱 螣芯科技
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