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螣芯科技
主營產(chǎn)品: 半導(dǎo)體前道, 后道, 檢測設(shè)備
國產(chǎn)等離子干法去膠機-硅基半導(dǎo)體及化合物半導(dǎo)體去膠機
價格
訂貨量(臺)
¥900000.00
≥1
店鋪主推品 熱銷潛力款
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在線客服
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螣芯科技
店齡4年
企業(yè)認(rèn)證
聯(lián)系人
婁先生 銷售總監(jiān)
聯(lián)系電話
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經(jīng)營模式
其他
所在地區(qū)
上海市青浦區(qū)
主營產(chǎn)品
國產(chǎn)等離子干法去膠機-硅基半導(dǎo)體及化合物半導(dǎo)體去膠機
應(yīng)用領(lǐng)域
6 ”到8 ”硅基半導(dǎo)體生產(chǎn)線
刻蝕后光刻膠灰化;
殘膠去除
高劑量離子注入后光刻膠去除
3 ”到6 ”碳化硅、氮化鎵、砷化鎵、磷化銦等化合物半導(dǎo)體生產(chǎn)線光刻膠灰化
殘膠去除;
高劑量離子注入后光刻膠去除
圖形下光刻膠釋放
8 ”到12”晶圓級封裝生產(chǎn)產(chǎn)線光刻膠殘膠去除
有機物去除
晶圓表面處理
運作特點
兼容晶圓尺寸為:4 ” /6 ” /8”或8 ” /12 ” ;
支持2 個開放式晶圓匣或SMIF
3 軸機械手;
2種可選等離子體源:
RPS (400KHz Toroidal遠(yuǎn)程等離子體源 )
電感耦合等離子體源 (13.56MHz)
高密度等離子體,去膠速率快
均勻性和重復(fù)性高
占地面積小
耗材成本(COC)和使用成本(COO)低
人性化的人機交互操作系統(tǒng)
工業(yè)計算機Windows
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