國產(chǎn)等離子干法去膠機-硅基半導(dǎo)體及化合物半導(dǎo)體去膠機
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品牌 國產(chǎn)
產(chǎn)地 上海
功能 干法去膠
適合尺寸 4、、6、8、12寸
頻率 13.56MHZ
商品介紹
  • 國產(chǎn)等離子干法去膠機-硅基半導(dǎo)體及化合物半導(dǎo)體去膠機


    應(yīng)用領(lǐng)域

    6 ”到8 ”硅基半導(dǎo)體生產(chǎn)線

    刻蝕后光刻膠灰化;

    殘膠去除

    高劑量離子注入后光刻膠去除

    3 ”到6 ”碳化硅、氮化鎵、砷化鎵、磷化銦等化合物半導(dǎo)體生產(chǎn)線光刻膠灰化

    殘膠去除;

    高劑量離子注入后光刻膠去除

    圖形下光刻膠釋放

    8 ”到12”晶圓級封裝生產(chǎn)產(chǎn)線光刻膠殘膠去除

    有機物去除

    晶圓表面處理

  • 運作特點

    兼容晶圓尺寸為:4 ” /6 ” /8”或8 ” /12 ” ;

    支持2 個開放式晶圓匣或SMIF

    3 軸機械手;

    2種可選等離子體源:

    RPS (400KHz Toroidal遠(yuǎn)程等離子體源 )

    電感耦合等離子體源 (13.56MHz)

    高密度等離子體,去膠速率快

    均勻性和重復(fù)性高

    占地面積小

    耗材成本(COC)和使用成本(COO)低

    人性化的人機交互操作系統(tǒng)

    工業(yè)計算機Windows


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公司名稱 螣芯科技
聯(lián)系賣家 婁先生 (QQ:1029292366)
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