北京科創(chuàng)鼎新真空技術有限公司主營：氦檢漏設備,氦質譜檢漏儀,LNG抽真空設備

半導體真空腔體的應用

中國半導體真空腔體市場近幾年快速發(fā)展,越來越多的公司也表達了進入芯片領域的興趣.以存儲芯片為例,以前中國國內存儲芯片完全靠進口,今年福建晉華集成電路的內存生產線有望投產,另外長江存儲科技公司也在建設內存和閃存芯片生產線.格力、康佳等傳統(tǒng)家電企業(yè)也表示,將進入芯片領域.

據(jù)國際半導體設備與材料協(xié)會報告顯示,中國目前正在天津、西安、北京、上海等16個地區(qū)打造25個FAB建設項目,福建晉華集成電路、長江存儲科技公司等企業(yè)技術水平雖不及韓國,但均已投入芯片量產.報告預測,今年中國半導體設備市場規(guī)模有望達118億美元,實現(xiàn)同比43.9%的增長,并且明年市場規(guī)模有望擴大至173億美元,增長46.6%,成為大市場.而同一時期內韓國的半導體設備市場規(guī)模從179.6億美元減少至163億美元,減幅為9.2%.中國超越韓國成為全球很大半導體設備市場.

真空腔體真空概念

真空是物理學里面的一個概念,反映的是空無一物的狀態(tài).在二十世紀的時候狄拉克提出了真空的概念,即真空并不是無物而是有實物粒子和虛粒子轉化的,但整體對外是不顯示物理屬性的宏觀總體.真空就像是一個能量海,不斷振蕩并且充滿著巨大能量.

真空的屬性確實是需要用空間來描述,但只是種數(shù)學表示,是為了方便研究才引入的參量,并不是說真空的性質取決于空間.

真空技術是建立在低于大氣壓力的環(huán)境下,以及在此環(huán)境中進行工藝制作、科學試驗和物理測量等所需要的技術.

用現(xiàn)代抽氣方法獲得的很低壓力,每立方厘米的空間里仍然會有數(shù)百個分子存在.

氣體稀薄程度是對真空的一種客觀量度 ,直接的物理量度是單位體積中的氣體分子數(shù).氣體分子密度越小,氣體壓力越低,真空就越高.真空常用帕斯卡或托爾做為壓力的單位.

真空腔體

超高真空技術應用廣泛，從現(xiàn)有的光學傳感器、光刻機、低溫恒溫器、電子顯微鏡和XPS光譜儀，到基于冷原子的便攜式傳感器、MEMS真空檢測儀器、真空電子束智能增材制造系統(tǒng)等新興領域。增材制造可大幅減少設備尺寸、重量和開發(fā)時間，從而加速基礎研究和技術開發(fā)。通過激光粉床打印機制造一個利用磁光阱MOT捕獲冷原子的小型超高真空腔體，由鋁合金AlSi10Mg制造。該系統(tǒng)經(jīng)歷120小時的120℃烘烤后，達到了低于1×10-10mbar的壓力范圍。裝置對獲的原子云進行熒光圖像，包含多達2×108個銣原子。增材制造的腔體的真空度優(yōu)于5.0×10-9mbar，與常見的磁光阱真空腔體性能一致，見圖1。這表明了增材工藝與超高真空腔體制造的適用性。