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以圓形恒彈性合金膜片為敏感元件的諧振式傳感器。膜片的固有振動頻率隨膜片上所受壓力的變化而變化，通過相應(yīng)的測量電路就可獲得與被測壓力成一定關(guān)系的頻率信號。振膜式傳感器廣泛用于壓力測量，它由空腔、壓力膜片、振動膜片、激勵線圈、拾振線圈和放大振蕩電路組成（見圖）。在空腔受壓力影響時，壓力膜片即發(fā)生變形，裝在壓力膜片支架上的振膜則因支架角度改變而發(fā)生剛度變化。膜片的振動頻率取決于振膜的剛度、壓力膜片和支架的剛度。在振膜的兩側(cè)分別放置激勵線圈和拾振線圈。

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駐極體傳聲器是使用駐極體這種材料作為振膜的一種電容式的傳聲器。還有電動式、電磁式、壓電式、半導(dǎo)體式傳聲器等，這些的工作原理和電容式的不完全一樣。當然駐極體是一種特殊的材料，一般采用聚合物（FEP較多）高壓充電后制成，能長久保持帶電的狀態(tài)。對于駐極體傳聲器，內(nèi)部由振膜，墊片和極板組成的電容器，因為振膜片上充有電荷，并且是一個塑料膜，因此當膜片受到聲壓強的作用，膜片要產(chǎn)生振動，從而改變了膜片與極板之間的距離，從而改變了電容器兩個極板之間的距離，產(chǎn)生了一個Δd的變化，因此必然要產(chǎn)生一個ΔC的變化，由于ΔC的變化，駐極體中充電電荷又是固定不變的，因此必然產(chǎn)生一個ΔV的變化。完成了聲音-電的轉(zhuǎn)化，再進行信號放大和阻抗變換即可。

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電阻式傳感器是將被測量，如位移、形變、力、加速度、濕度、溫度等這些物理量轉(zhuǎn)換式成電阻值這樣的一種器件。主要有電阻應(yīng)變式、壓阻式、熱電阻 、熱敏、氣敏、濕敏等電阻式傳感器件。傳感器中的電阻應(yīng)變片具有金屬的應(yīng)變效應(yīng)，即在外力作用下產(chǎn)生機械形變，從而使電阻值隨之發(fā)生相應(yīng)的變化。電阻應(yīng)變片主要有金屬 和半導(dǎo)體兩類，金屬應(yīng)變片有金屬絲式、箔式、薄膜式之分。半導(dǎo)體 應(yīng)變片具有靈敏度高（通常是絲式、箔式的幾十倍）、橫向效應(yīng)小等優(yōu)點。