深圳精信立科技有限公司
主營產(chǎn)品: 波前傳感器, 深度制冷短波紅外相機, 可調(diào)諧太赫茲源
ATL-Lasertech準分子激光器短脈沖準分子激光器系列-多型號可選
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一、產(chǎn)品簡介
1、準分子激光器采用ArF、KrF作為增益介質(zhì),是產(chǎn)生大能量、重復頻率輸出的193nm、244nm激光輸出的主要手段。短波長激光器對材料有良好的冷剝離能力,同時成像分辨率較高,廣泛用于微加工、掩膜刻寫、激光燒蝕等領域。德國ATL Lasertech 公司專業(yè)生產(chǎn)小型化、高重頻、短脈沖準分子激光器,主要應用于:
l眼科手術
l玻璃及塑料微加工
l微制造
l激光剝蝕
lTOF質(zhì)譜
lFBG刻寫
2、ATL 提供ATLEX、專用于FBG刻寫的ATLEX-FBG系列,低負荷的ATLEX-LR系列,以及非常緊湊的ATLEX-S系列。產(chǎn)品采用一系列獨到的設計以滿足工業(yè)級應用需求:
l軟電暈預電離
l全固態(tài)高壓脈沖發(fā)生器
l激光頭容積 < 3L
l全金屬-陶瓷管路
l集成真空泵及鹵素過濾器
l全風冷,主動熱管理
lRS485,RS232,USB以及光纖接口
l可沖洗光具座
l能量穩(wěn)定模式
二、型號及參數(shù)
1、ATLEX-I 系列
ATLEX-I依據(jù)重復頻率的不同,分為ATLEX-300-I、ATLEX-500-I、ATLEX-1000-I三個型號。
增益介質(zhì) | F2 | ArF | KrF | XeCl | XeF | |
波長(nm) | 157 | 193 | 248 | 308 | 351 | |
高壓開關技術 | 固態(tài)開關 | |||||
最高脈沖能量(mJ) | 1 | 10 | 15 | 8 | 7 | |
最高平均功率(W) | ATLEX-300-I | 0.2 | 2.4 | 4.0 | 2.0 | 1.7 |
ATLEX-500-I | 0.5 | 4.0 | 6.5 | 3.0 | 2.5 | |
ATLEX-1000-I | N/A | 8 | 10 | N/A | N/A | |
最高重頻(Hz) | ATLEX-300-I | 300 | ||||
ATLEX-500-I | 500 | |||||
ATLEX-1000-I | 1000 | |||||
脈沖寬度(ns) | 5 - 8 | |||||
光束尺寸(mm) | 4×6 | |||||
光束發(fā)散角(mrad) | 1×2 | |||||
能量穩(wěn)定性(rms) | 3% | |||||
外形尺寸(mm, L×W×H) | 540×470×300 |
2、ATLEX-FBG系列
ATLEX-FBG系列專為FBG刻寫設計,具備較好的空間相干性指標。ATLEX-FBG共300、500兩個型號。
增益介質(zhì) | ArF | KrF | |
波長(nm) | 193 | 248 | |
高壓開關技術 | 固態(tài)開關 | ||
最高脈沖能量(mJ) | 10 | 15 | |
空間相干性(光斑豎直方向)(um) | >300 | ||
最高平均功率(W) | ATLEX-300-I | 2.4 | 4.0 |
ATLEX-500-I | 4.0 | 6.5 | |
最高重頻(Hz) | ATLEX-300-I | 300 | |
ATLEX-500-I | 500 | ||
脈沖寬度(ns) | 5 - 8 | ||
光束尺寸(mm) | 4×6 | ||
光束發(fā)散角(mrad) | 1×2 | ||
能量穩(wěn)定性(rms) | 3% | ||
外形尺寸(mm, L×W×H) | 540×470×300 |
3、ATLEX-LR系列
ATLEX-LR 系列適合低負荷使用,專門為激光剝蝕(Laser Ablation)設計。激光為193nm輸出優(yōu)化,同時具有非??斓纳仙睾透叻逯倒β?。
增益介質(zhì) | ArF |
波長(nm) | 193 |
高壓開關技術 | 固態(tài)開關 |
最高脈沖能量(mJ) | 12 |
能量穩(wěn)定選項輸出(mJ) | 10 |
脈沖寬度(ns) | 5 |
光束尺寸(mm) | 4×6 |
光束發(fā)散角(mrad) | 1×2 |
能量穩(wěn)定性(rms) | 3% |
外形尺寸(mm, L×W×H) | 540×470×300 |
4、ATLEX-S系列
ATLEX-S具備更小的尺寸,適合低-中負荷的應用。
增益介質(zhì) | ArF | KrF | |||
波長(nm) | 193 | 248 | |||
高壓開關技術 | 固態(tài)開關 | ||||
最高脈沖能量(mJ) | 10 | 15 | |||
最高平均功率(W) | 2.4 | 4.0 | 4 | 6 | |
最高重頻(Hz) | 300 | 500 | 300 | 500 | |
脈沖寬度(ns) | 5 - 8 | ||||
光束尺寸(mm) | 4×6 | ||||
光束發(fā)散角(mrad) | 1×2 | ||||
能量穩(wěn)定性(rms) | 3% | ||||
外形尺寸(mm, L×W×H) | 630×400×300 |
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