真空監(jiān)測

HORIBA 的質(zhì)譜儀之一。緊湊的尺寸是通過微型四極濾質(zhì)器陣列的專利設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)的。該陣列提供與質(zhì)譜儀相似或更高的靈敏度，但體積只是其中的一小部分。該能夠在比高得多的壓力下運(yùn)行，因此了對額外差動泵送設(shè)備的需求。RGA可作為可靠的工具，在加工前檢測真空室的狀況；例如檢測真空室中的水分。

我們還提供屢獲殊榮的電容式壓力計(jì)，它結(jié)構(gòu)緊湊，全金屬，并具有自動溫度調(diào)節(jié)功能。

HORIBA 蒸氣濃度監(jiān)測儀使用非色散紅外吸收法測量技術(shù) (NDIR)，性能可靠并提供高性能。

GE50A

VG系列

電容式壓力計(jì) VG 系列

電容壓力計(jì)

電容式壓力計(jì) VG 系列是緊湊型全金屬的，具有自動溫度調(diào)節(jié)類型。 

細(xì)分市場：半導(dǎo)體

部門：干控制

制造公司：HORIBA STEC, Co., Ltd.

我公司還銷售OVAL流量計(jì)、SPONSLER流量計(jì)、KAWAKI流量計(jì)、TRIMEC流量計(jì)、ELSTER流量計(jì)、ELETTA流量計(jì)、kem流量計(jì)、KOBOLD流量計(jì)、NITTO SEIKO流量計(jì)、MKS流量計(jì)等產(chǎn)品