流量計真空計
主營產(chǎn)品: 流量計真空計真空泵, 分子泵, 半導體激光器
七星華創(chuàng)氣體流量計控制器CS200-天鉉專業(yè)維修
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流量計真空計
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經(jīng)營模式
經(jīng)營批發(fā)
所在地區(qū)
廣東省深圳市
主營產(chǎn)品
深圳市天鉉真空技術有限公司
技術參數(shù)
CS200 | ||||||
類型 | CS200-A | CS200-C | CS200-D | |||
閥類型 | 常開(100 SCCM≤流量規(guī)格≤5 SLM) 或常閉 | 無 | 常開(100 SCCM≤流量規(guī)格≤5 SLM) 或常閉 | 無 | 常開(100 SCCM≤流量規(guī)格≤5 SLM) 或常閉 | 無 |
流量規(guī)格(N2) | (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | (0~2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | ||||
準確度 | ±1.0% S.P. (≥35% F.S.) | |||||
線性 | ±0.5% F.S. | |||||
重復精度 | ±0.2% F.S. | |||||
響應時間 | ≤ 1sec | ≤ 0.8sec | ||||
工作壓差范圍 | 0.05~0.35MPa 流量規(guī)格≤10SLM | <0.02 MPa | 0.05~0.35MPa | <0.02 MPa | 0.05~0.35MPa | <0.02 MPa |
工作壓力 | 0.45MPa | |||||
溫度系數(shù) | 零點: ≤±0.05% F.S./℃; | 零點: ≤±0.02% F.S./℃; | ||||
耐壓強度 | 3MPa | |||||
漏率 | 1×10-10 Pa·m3 / sec He | 1×10-11 Pa·m3 / sec He | ||||
密封材料 | 氟橡膠 | 金屬密封 | ||||
工作環(huán)境溫度 | (5~45)℃ | (0~50)℃ | ||||
輸入信號 | 數(shù)字: RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus | 無 | 數(shù)字: RS485 | 無 | 數(shù)字: RS485 | 無 |
輸出信號 | 數(shù)字::RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus 或 EtherCAT | |||||
1 Kg | 0.8Kg | 1.2Kg | 1Kg | 1.2Kg | 1Kg |
技術參數(shù):
全量程:10SCCM,20SCCM,50SCCM,100SCCM,200SCCM,500SCCM,1000SCCM,2000SCCM,5000SCCM,10000SCCM,20000SCCM。
控制量程:2% to 100%的全量程。
測量精度:全量程的1%
靈敏度:全量程的0.1%
熱機時間:小于2Min.
響應速度:小于2Sec.
輸入電壓:±15VDC@100ma
輸出電壓:0-5VDC
連接器:模擬:9Pin或15Pin或20Pin Card edge.
數(shù)字:RS485或Device net或Profibus
法蘭接口:Swagelok 4VCR,Swagelok4 VCO,Swage 1/4”等
材質(zhì):316不銹鋼。
質(zhì)保期:有限保修自售出之日起12個月。