產(chǎn)品名稱: 高純度水冷臭氧發(fā)生器

型號系列:OG-5000系列

品牌:Teledyne API

產(chǎn)地:美國

價格:**終成交價格需聯(lián)系客服

訂貨號:OG-5000系列

 OG-5000系列臭氧發(fā)生器是為滿足半導(dǎo)體工業(yè)中對高濃度潔凈臭氧的需求而設(shè)計的，可應(yīng)用于化學(xué)氣相沉積、原子層沉積、氧化物生長和濕法處理過程中。

OG-5000系列設(shè)計緊湊，使用水冷系統(tǒng)，能夠簡便的整合進(jìn)TAPI的臭氧系統(tǒng)控制器、臭氧泄露探測器、臭氧濃度監(jiān)測器和臭氧破壞器中。該儀器經(jīng)過驗證的技術(shù)使得它可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體流程中。??

 

高純度臭氧

高臭氧濃度

價格低

無消耗品

設(shè)計緊湊，模塊化

經(jīng)過驗證的技術(shù)

半導(dǎo)體

化學(xué)氣相沉積 (CVD)

原子層沉積 (ALD)

氧化物生長

表面處理

粒子清潔

光刻膠去除

灰化

其他