產(chǎn)品名稱：INFICON傳感器(ALD) 

品牌：美國INFICON

產(chǎn)地：美國

型號：ALD

在 ALD 應(yīng)用中實現(xiàn)**準確度、正常運行時間和**少維護
INFICON ALD 傳感器將石英晶體微天平（QCM）測量的可重復(fù)性、精確性和耐用性帶入原子層沉積 (ALD)。ALD 傳感器可承受高達 450oC 的高溫，設(shè)計在嚴苛的 ALD 應(yīng)用環(huán)境中運行。裸露的晶體電極完全接地以有效地消除與電干擾有關(guān)的任何潛在問題。

專為 ALD 而設(shè)計
INFICON ALD 傳感器特有的一種功能是導(dǎo)氣管，通過它可使用惰性氣體吹掃晶體和傳感器后側(cè)，通常使用氮氣。這可防止反應(yīng)室的氣體進入傳感器頭，并確保晶體背面和電氣觸點無沉積材料。這種技術(shù)可在不適合使用標準 QCM 的系統(tǒng)中實現(xiàn)現(xiàn)場測量。

饋入件和饋入件連接
INFICON ALD 傳感器可采用自定義焊接長度，也可采用長度可調(diào)的壓縮接頭而無需銅焊或焊接。所有配置都使用 2 ?in. (CF40) ConFlat 法蘭饋入件。

高溫晶體實現(xiàn)更準確的測量
與 INFICON 的新型高溫石英晶體結(jié)合使用時，INFICON ALD 傳感器可在高溫應(yīng)用中達到**測量精度和較低的頻率噪聲。這些高溫晶體針對 120、240 和 285°C 應(yīng)用進行了優(yōu)化，因此您總能獲得適合自己應(yīng)用的正確晶體。也可提供針對其他溫度優(yōu)化過的晶體。

功能

工作溫度高達 450°C
氣體吹掃管路可防止晶體背面出現(xiàn)沉積材料
焊接式 Conflat 法蘭 (CF40) 選件
O 形密封環(huán)壓縮接頭選件
提供高溫晶體

好處

與大多數(shù) ALD 過程溫度兼容
明顯減少維護工作
**化系統(tǒng)運行時間
**化測量精度

在高過程溫度下可獲得低噪聲的穩(wěn)定讀數(shù)

典型應(yīng)用

原子層沉積 (ALD)