Chroma 7503三維光學(xué)輪廓儀乃利用掃描白光干涉技術(shù)所發(fā)展之次納米三維光學(xué)輪廓量測儀，透過精密的掃描系統(tǒng)以及創(chuàng)新算法進(jìn)行微奈米結(jié)構(gòu)物表面輪廓的量測與分析。并可依據(jù)需求搭配彩色或單色相機(jī)進(jìn)行2D量測，使系統(tǒng)亦具備工具顯微鏡量測功能，達(dá)到一機(jī)多用途的目的。

Chroma 7503新一代的系統(tǒng)模塊化設(shè)計(jì)，具備高度彈性之組合配置，可針對(duì)不同之量測需求配置來符合不同之量測應(yīng)用：搭載電動(dòng)鼻輪，最多可同時(shí)掛載5種物鏡，使用時(shí)直接切換，省去手動(dòng)更換的麻煩。同時(shí)配備電動(dòng)調(diào)整移動(dòng)平臺(tái)，可對(duì)樣品作自動(dòng)調(diào)平及定位。垂直與水平軸向掃描范圍大，適合各種自動(dòng)量測之應(yīng)用，樣品皆不需前處理即可進(jìn)行非破壞、快速的表面形貌量測與分析，適合使用于業(yè)界研發(fā)生產(chǎn)、制程改善以及學(xué)術(shù)研究等單位。

Chroma 7503之高度分辨率可達(dá)0.1 nm，而搭配使用Z垂直軸量測掃描行程更可達(dá)到100mm，且水平軸向亦可達(dá)次微米解析，除此Chroma 7503 可透過計(jì)算機(jī)控制移動(dòng)平臺(tái)進(jìn)行水平掃瞄，使其水平軸向量測范圍可達(dá)到150 × 150mm，并可依據(jù)客戶需求修改平臺(tái)尺寸。Chroma 7503搭配快速的校正程序以及演算原理，系統(tǒng)校正結(jié)果可以追朔至NIST標(biāo)準(zhǔn)，并結(jié)合數(shù)種創(chuàng)新且強(qiáng)固可靠的算法，因此本系列產(chǎn)品可同時(shí)擁有高精準(zhǔn)度以及大范圍測量的特質(zhì)。

Chroma 7503系統(tǒng)配備自動(dòng)化掃描平臺(tái)，由垂直軸自動(dòng)化移動(dòng)平臺(tái)的掃描功能搭配快速的自動(dòng)對(duì)焦算法，可有效輔助用戶找到優(yōu)秀的對(duì)焦位置，另外通過傾斜調(diào)整平臺(tái)可快速地將待測物調(diào)平，在短短的幾秒鐘之內(nèi)無需繁復(fù)的操作，系統(tǒng)即可自動(dòng)將待測物體調(diào)整至優(yōu)秀對(duì)焦位置并予以調(diào)平進(jìn)行量測。