ST2263型雙電測(cè)四探針電阻率/方塊電阻測(cè)試儀(帶PC軟件)簡(jiǎn)介

一、結(jié)構(gòu)特征

二、概述

2.1基本功能和依據(jù)標(biāo)準(zhǔn)：

ST2263型雙電測(cè)數(shù)字式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用直線或方形四探針雙位測(cè)-改進(jìn)形范德堡測(cè)量方法測(cè)試材料電阻率/方塊電阻的智能化綜合測(cè)量?jī)x器。

該儀器設(shè)計(jì)符合GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測(cè)定方法》、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測(cè)定直流四探針?lè)ā返?span>并參考美國(guó) A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。

利用電流探針、電壓探針的變換，進(jìn)行兩次電測(cè)量，對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測(cè)分析，自動(dòng)消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響，它與單電測(cè)直線或方形四探針相比，

大大提高正確度，特別是適用于斜置式四探針對(duì)于微區(qū)的測(cè)試。

2.2儀器成套組成：由ST2253四探針主機(jī)、選配的四探針探頭、四探針測(cè)試臺(tái)以及ST2253型四探針測(cè)試軟件等部分組成。

2.3優(yōu)勢(shì)特征：

1：雙電測(cè)模式，四探針測(cè)試模式中精度高等級(jí)。

2：帶電腦軟件，可以保存、查詢、統(tǒng)計(jì)分析數(shù)據(jù)和打印報(bào)告。

3：USB通訊接口，通用性好、方便快捷。優(yōu)于RS232或485方式，這些端口一般電腦都難配了！

4：8檔位超寬量程。同行一般為五到六檔位。

5:可脫電腦單機(jī)操作,小型化、手動(dòng)/自動(dòng)一體化。

6:操作簡(jiǎn)便、性能穩(wěn)定，所有參數(shù)設(shè)定、功能轉(zhuǎn)換全部采用數(shù)碼開(kāi)關(guān)輸入，簡(jiǎn)便而且免除模擬定位器的不穩(wěn)定。

2.4探頭選配：根據(jù)不同材料特性需要，探頭可有多款選配。詳情見(jiàn)《四探針探頭型號(hào)規(guī)格特征選型參照表》

1配高耐磨的碳化鎢探針探頭，以測(cè)試硅等半導(dǎo)體、金屬、導(dǎo)電塑料類(lèi)等硬質(zhì)材料的電阻率/方阻；

2配不傷膜的球形或平頭鍍金銅合金探針探頭，可測(cè)金屬箔、碳紙等導(dǎo)電薄膜，也可測(cè)陶瓷、玻璃或PE膜等基底上導(dǎo)電涂層膜，如金屬鍍膜、噴涂膜、ITO膜、電容卷積膜等材料的薄膜涂層電阻率/方阻。

3配專(zhuān)用箔上涂層探頭，也可測(cè)試鋰電池電池極片等箔上涂層電阻率/方阻。

4換上四端子測(cè)試夾具，還可對(duì)電阻器的體電阻、金屬導(dǎo)體的低、中值電阻以及開(kāi)關(guān)類(lèi)接觸電阻進(jìn)行測(cè)量。

2.5測(cè)試臺(tái)選配：根據(jù)不同材料特性需要，測(cè)試臺(tái)可有多款選配。詳情見(jiàn)《四探針測(cè)試臺(tái)型號(hào)規(guī)格特征選型參照表》

四探針?lè)y(cè)試固體或薄膜材料選配SZT-A型或SZT-B型（電動(dòng)）或SZT-C型（快速恒壓）或SZT-F型（太陽(yáng)能電池片）測(cè)試臺(tái)。

二探針?lè)y(cè)試細(xì)長(zhǎng)棒類(lèi)材料選配SZT-K型測(cè)試臺(tái).

平行四刀法測(cè)試橡塑材料選配SZT-G型測(cè)試臺(tái)。

2.6適用范圍：儀器適用于半導(dǎo)體材料廠器件廠、科研單位、高等院校四探針?lè)▽?duì)導(dǎo)體、半導(dǎo)體、類(lèi)半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電性能的測(cè)試。特別是適用于斜置式四探針對(duì)于微區(qū)的測(cè)試。

三、基本技術(shù)參數(shù)

3.1 測(cè)量范圍

電  阻：1×10^-4～2×10⁵Ω   ，分辨率：1×10^-5～1×10²Ω

電阻率：1×10^-4～2×10⁵Ω-cm，分辨率：1×10^-5～1×10²Ω-cm

方  阻：5×10^-4～1×10⁶Ω/□，分辨率：5×10^-5～1×10²Ω/□

3.2 材料尺寸(由選配測(cè)試臺(tái)和測(cè)試方式?jīng)Q定)

直    徑：SZT-B/C/F測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式180mm×180mm，手持方式不限.

長(zhǎng)(高)度：測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式 H≤100mm,   手持方式不限.

測(cè)量方位: 軸向、徑向均可

3.3量程劃分及誤差等級(jí)

3.4四探針探頭（選配其一或加配全部）

(1)碳化鎢探針：Φ0.5mm，直線探針間距1.0mm，探針壓力: 0～2kg 可調(diào)

(2)薄膜方阻探針：Φ0.7mm，直線或方形探針間距2.0mm，探針壓力: 0～0.6kg 可調(diào)

3.5.電源

輸入: AC 220V±10% ,50Hz  功              耗：<20W

3.6.外形尺寸、重量：

主   機(jī)： 220mm（長(zhǎng)）×245 mm（寬）×100mm（高），     凈   重：≤2.5kg

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