熱式質(zhì)量流量計，又名量熱式流量計，是一種對流體質(zhì)量流量進行檢測的儀器儀表。其有兩種不同的測量原理，但都歸結(jié)為“熱式”兩字，原理之一是對流體流經(jīng)的部分管道進行加熱，利用流體流經(jīng)加熱管道時溫度場的變化來進行測量；另一種測量原理是對流體本身進行加熱，利用流體升溫所需能量與流體質(zhì)量間關系來進行測量。

熱式質(zhì)量流量計根據(jù)熱源及測溫方式的不同可分為接觸式和非接觸式兩種。

1、接觸式熱式質(zhì)量流量計

這種質(zhì)量流量計的加熱元件和測溫元件都置于被測流體的管道內(nèi)，與流體直接接觸，常被稱為托馬斯流量計，適于測量氣體的較大質(zhì)量流量. 由于加熱及測量元件與被測流體直接接觸，因此元件易受流體腐蝕和磨損，影響儀表的測量靈敏度和使用壽命。測量高流速、有腐蝕性的流體時不宜選用，這是接觸式的缺點。

2、非接觸式熱式質(zhì)量流量計

這種流量計的加熱及測溫元件都置于流體管道外，與被測流體不直接接觸，克服了接觸式的缺點。

熱式質(zhì)量流量計用途

1、鋼鐵廠，焦化廠煤氣流量測量;

2、鍋爐空氣流量，測量二次風量;

3、煙囪排出的煙氣流量測量;

4、水處理中瀑氣流量測量;

5、水泥，卷煙，玻璃廠生產(chǎn)過程中氣體流量測量;

6、壓縮空氣流量測量;

7、天然氣，煤氣，液化氣，火炬氣，氫氣等氣體流量測量。

熱式質(zhì)量流量計優(yōu)點

熱式質(zhì)量流量計可測量低流速(氣體0.02~2m/s)微小流量;浸入式熱式質(zhì)量流量計可測量低~中偏高流速(氣體2~60m/s)，插入式熱式質(zhì)量流量計更適合于大管徑。

熱式質(zhì)量流量計無活動部件，無分流管的熱分布式儀表無阻流件，壓力損失很小;帶分流管的熱分布式儀表和浸入性儀表，雖在測量管道中置有阻流件，但壓力損失也不大。

熱式質(zhì)量流量計使用性能相對可靠。與推導式質(zhì)量流量儀表相比，不需溫度傳感器，壓力傳感器和計算單元等，僅有流量傳感器，組成簡單，出現(xiàn)故障概率小。

熱分布式儀表用于H2 、N2 、O2、CO 、NO等接近理想氣體的雙原子氣體，不必用這些氣體標定，直接就用空氣標定的儀表，實驗差別僅2%左右;用于Ar、He等單原子氣體則乘系數(shù)1.4即可;用于其他氣體可用比熱容換算，但偏差可能稍大些。

氣體的比熱容會隨著壓力溫度而變，但在所使用的溫度壓力附近不大的變化可視為常數(shù)。

熱式質(zhì)量流量計(Thermal Mass Flowmeters，簡稱TMF)在國內(nèi)習稱量熱式流量計，是利用流體流過外熱源加熱的管道時產(chǎn)生的溫度場變化來測量流體質(zhì)量流量，或利用加熱流體時流體溫度上升某一值所需的能量與流體質(zhì)量之間的關系來測量流體質(zhì)量流量的一種流量儀表。一般用來測量氣體的質(zhì)量流量。具有壓損低;流量范圍度大;高精度、高重復性和高可靠性；無可動部件以及可用于低氣體流量監(jiān)測和控制等特點，利用加熱流體的熱量(或溫度)變化測量流體的質(zhì)量流量已有很長的歷史。早期的TMF直接將加熱線圈和測溫元件放入流體中與流體直接接觸，是一種接觸式流量計，由于不能解決嘴蝕和磨損以及防爆等問題，使它的工業(yè)應用受很大的限制。托馬斯流量計是這種流量計的代表，主要用來測量較大流量的氣體質(zhì)量流量;到20世紀50年代，人們提出了一種與流體不接觸的邊界層流量計，克服了接觸式流量計的缺點，但測量結(jié)果易受介質(zhì)參數(shù)(如導熱系數(shù)、比熱容、粘度等)的影響，可以用來測量較大的液體流量;到70年代，基于測量流體溫度分布的熱分布型TMF，由于其特的優(yōu)點在國內(nèi)外得到了很快的發(fā)展，用來測量氣體的微小流量，隨著科技的發(fā)展，經(jīng)過對流量計結(jié)構上的重新設計，在接觸式流量計的基礎上，人們提出了一種浸入型的TMF，也得到了很快的發(fā)展，可以用來測量較大管徑的氣體流量。

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