東莞市宏誠光學制品有限公司
主營產(chǎn)品: 光學制品 儀器儀表
日本光弛OTFC-1800CBI/DBI光學真空鍍膜機-蒸發(fā)電鍍膜機轉(zhuǎn)讓
價格
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¥11000.00
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工廠低價轉(zhuǎn)讓2臺進口日本OTFC-1800CBI/DBI光學真空鍍膜機
真空室 SUS304, φ1800mm×1920mm (H)
工件架 φ1600mm
工件架轉(zhuǎn)速 10rpm to 30rpm(可變)
光學膜厚控制 HOM2-R-VIS350A光學膜厚監(jiān)控儀
波長范圍:350nm to 1100nm
反射式或透射式
石英晶振膜厚計 XTC/3+6點式石英晶體傳感器
蒸發(fā)源 電子槍2套
離子源 23cmRF離子源
排氣系統(tǒng) 機械泵+2個擴散泵+Polycold(或2個冷凝泵)
性能:
達到壓力 7.0×10-5 Pa 以下
排氣時間 20分(大氣壓~1.3×10-3 Pa)
基板溫度 最高:350℃
特點:
OTFC系列是用于生產(chǎn)紅外截止濾光片、分色濾光片等成膜的真空鍍膜裝置。
真空室尺寸:Φ600-1800mm
60點/80點式光學膜厚監(jiān)控使用均勻分布的高離子電流密度的離子源
搭載雙電子槍,多點和環(huán)型坩堝可鍍100層以上
利用自動蒸鍍控制系統(tǒng)實現(xiàn)全自動蒸鍍過程
工件架可選擇鐘罩式或行星式
排氣系統(tǒng)可選擇擴散泵+低溫冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵
工作條件:
設(shè)備尺寸 約5700mm(W)×7700mm(D)×4000mm(H)
電源 3相, 200V, 50/60Hz, 約150kVA
水流量 180升/分以上
空氣壓力 0.5MPa以上
重量 約11200kg