東莞希思克傳動(dòng)科技有限公司主營(yíng)：直線導(dǎo)軌,滾珠絲桿,直線模組,直線電機(jī),絲桿支撐座

直線馬達(dá)應(yīng)用在半導(dǎo)體行業(yè)的優(yōu)點(diǎn)

最常見(jiàn)的直線馬達(dá)類型有平板直線電機(jī)、U形槽直線電機(jī)和圓柱直線電機(jī)。圓柱型直線電機(jī)即音圈電機(jī)。音圈電機(jī)具有構(gòu)造簡(jiǎn)單、響應(yīng)速度快、靈敏度高、隨動(dòng)性好、密封性能好、不怕污染、適應(yīng)性強(qiáng)、運(yùn)行穩(wěn)定可靠、使用壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn)。因此，這種直線馬達(dá)廣泛用于半導(dǎo)體涉及器件和其他發(fā)展領(lǐng)域。

引線連接器

與半導(dǎo)體制造裝置有關(guān)的引線連接器的裝置，一般都在Z軸機(jī)構(gòu)和XY工作臺(tái)機(jī)構(gòu)上使用。Z軸機(jī)構(gòu)是通過(guò)用金屬線連接電極和引線框而相對(duì)于XY平臺(tái)上的集成電路芯片上下移動(dòng)的機(jī)構(gòu)。

XY工作臺(tái)機(jī)構(gòu)是因?yàn)檫B接位置的改變而移動(dòng)放置集成電路芯片電極和引線框架的工作臺(tái)的機(jī)構(gòu)。

有效減振器

為保證半導(dǎo)體涉及裝置中的加工精度，對(duì)裝置所存放地基的震動(dòng)以及建在裝置上的驅(qū)動(dòng)設(shè)備產(chǎn)生的震動(dòng)都要予以抑制。原先是用彈簧和流體進(jìn)行被動(dòng)的或主動(dòng)的震動(dòng)抑制，因?yàn)橐羧?span style="color:#E53333;">直線馬達(dá)的構(gòu)造簡(jiǎn)單，響應(yīng)性好等優(yōu)勢(shì)，并且對(duì)檢測(cè)的振動(dòng)能實(shí)現(xiàn)抵消作用的操作。這一有效減振器非常實(shí)用，由此而贏得積極的推廣。

雙軸十字平臺(tái)

隨著工業(yè)4.0的發(fā)展，音圈直線馬達(dá)已成為半導(dǎo)體行業(yè)不可或缺的核心部件。 標(biāo)準(zhǔn)環(huán)形音圈電機(jī)的峰值推力達(dá)到5000N，行程達(dá)到300mm，擺動(dòng)型音圈電機(jī)的峰值轉(zhuǎn)矩達(dá)到50N.M，擺動(dòng)角度超過(guò)120°。音圈直線馬達(dá)將在許多領(lǐng)域贏得更多的應(yīng)用，慢慢取代傳統(tǒng)電機(jī)如齒條和螺桿。

直線馬達(dá)的靈敏度高

大家對(duì)直線馬達(dá)有一定的了解以后，就會(huì)發(fā)現(xiàn)它之所以能夠廣泛用于精準(zhǔn)度或者說(shuō)要求度高的激光行業(yè)，能夠給激光行業(yè)的陶瓷、藍(lán)寶石這樣的材質(zhì)提供能量的重要原因就在于它的靈敏度高。這種高的靈敏度源自動(dòng)子是用磁懸浮支撐。因此直線馬達(dá)的靈敏度高，而且隨動(dòng)性好。大家試想，如果靈動(dòng)性不夠，或者隨意性差，如何能夠進(jìn)行精細(xì)化作業(yè)。因此，希思克認(rèn)為直線馬達(dá)就是一個(gè)特別具有行業(yè)技術(shù)力量的電機(jī)。

直線馬達(dá)的控制技術(shù)基于三個(gè)方面

任何一種技術(shù)的研究和發(fā)展都是保持動(dòng)態(tài)的。對(duì)于直線馬達(dá)也是如此。在研究直線馬達(dá)的時(shí)候可以從三個(gè)方面來(lái)看其控制技術(shù)。這三個(gè)方面分別是傳統(tǒng)控制技術(shù)和現(xiàn)代控制技術(shù)，還有就是智能控制技術(shù)。這個(gè)方面既方應(yīng)了直線馬達(dá)的發(fā)展進(jìn)步也是一個(gè)機(jī)械行業(yè)自身的發(fā)展的縮影。其實(shí)很多機(jī)械都是從傳統(tǒng)發(fā)展到現(xiàn)在的智能化。希思克認(rèn)為所有的技術(shù)發(fā)展都將歷經(jīng)這樣的一個(gè)歷程。這是機(jī)械行業(yè)的發(fā)展規(guī)律。