利用高能高奧氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產(chǎn)生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負(fù)電子不平衡，所以需與氧分子結(jié)合，進(jìn)而產(chǎn)生臭氧。

該技術(shù)節(jié)能、環(huán)保，應(yīng)用范圍廣，所有化工生產(chǎn)環(huán)節(jié)產(chǎn)生的惡臭異味幾乎都可以處理，并對(duì)二惡英有良好的分解效果。
等離子體工業(yè)廢氣處理技術(shù)已研制出標(biāo)準(zhǔn)化廢氣治理設(shè)備，利用所產(chǎn)生的高能電子、自由基等活性粒子激活、電離、裂解工業(yè)廢氣中的各組成份，使之發(fā)生分解，氧化等一些列復(fù)雜的化學(xué)反應(yīng)，再經(jīng)過多級(jí)凈化，從而消除各種污染源排放的異味、臭味污染物，使有毒有害氣體達(dá)到低毒化、無毒化，保護(hù)人類生存環(huán)境。
由于其對(duì)污染物分子的高效分解且處理能耗低等特點(diǎn)，為工業(yè)廢氣的處理開辟了一條新的思路。

第四：利用特制的高能光束照射惡臭氣體，裂解惡臭氣體如:氨、三、硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、甲硫醚、、二硫化碳和苯乙烯、硫化物H2S、VOC類、苯、、二的分子鏈結(jié)構(gòu)，使有機(jī)或無機(jī)高分子惡臭化合物分子鏈，在高能紫外線光束照射下，降解轉(zhuǎn)變成低分子化合物，如CO2、H?O等。

低溫等離子廢氣處理技術(shù)，采用雙介質(zhì)阻擋放電形式產(chǎn)生等離子體，所產(chǎn)生等離子體的密度是其他技術(shù)產(chǎn)生等離子體密度的1500倍，初用于氟利昂類、隆類物質(zhì)的分解處理，后延伸至工業(yè)惡臭、異味、有毒有害氣體處理。