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這種情況比較復(fù)雜，因?yàn)橹車鷼怏w介質(zhì)即使稍微漏入真空腔內(nèi)，也會(huì)使其真空度降低。如果漏入了腐蝕性氣體,真空設(shè)備就可能損壞。在很多情況下，真空度和真空空間的潔凈，對(duì)真空條件下進(jìn)行的各種工藝過程的質(zhì)量有決定性的影響。

真空器件所使用的機(jī)械密封在結(jié)構(gòu)上并無特殊之處。對(duì)于上述的一種情況，通常是采用氣密性好的金屬波紋營(yíng)型單端面機(jī)械密封。第二種情況則要用雙端面機(jī)械密封，若使用單端面密封，勢(shì)必存在密封端面不能獲得潤(rùn)滑的問題。

密封面內(nèi)圓柱面上的傷痕很可能是外面的雜物進(jìn)入密封面或安裝不當(dāng)造成的。密封面上的環(huán)形溝槽，多數(shù)是固體微粒沉積于密封面而引起的。

石墨環(huán)（動(dòng)環(huán)）的裂紋是由于傳動(dòng)件的振動(dòng)，橡膠圈的漲大以及石墨環(huán)本身的內(nèi)應(yīng)力造成的，而結(jié)焦則是因高溫所致，這在煉油廠的高溫?zé)嵊徒橘|(zhì)中是常見的。

多孔端面機(jī)械密封的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)及性能     多孔端面機(jī)械密封(LST-MS) 是Etsion于1996 年提出的，在動(dòng)靜環(huán)的任一面上加工出不同分布形式的微孔，微孔不具有方向性，屬于雙向旋轉(zhuǎn)的非接觸機(jī)械密封，可用于氣體或液體密封。輔助密封圈(包括動(dòng)環(huán)密封圈和靜環(huán)密封圈)安裝前也需涂一層清潔的機(jī)油或透平油，以保證安裝順利。典型微孔端面密封常采用激光精密加工而成，如圖所示。本文主要講解了多孔端面機(jī)械密封的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)及性能，揭示其密封機(jī)理與動(dòng)壓形成機(jī)制。

正常使用前，先進(jìn)行常壓運(yùn)轉(zhuǎn)，觀察密封部位的溫升是否正常，有否泄漏現(xiàn)象。如有輕微泄漏，可以跑合一段時(shí)間，使端面貼合得更加均勻，至泄漏量逐漸減少到正常為止。如運(yùn)轉(zhuǎn)1—3小時(shí)，泄漏量仍不減少，則需停車檢查;

正常工況運(yùn)轉(zhuǎn)，升壓升溫可分別緩慢進(jìn)行，并注意端面的溫升和泄漏情況，如一切正常，說明即可投入生產(chǎn)使用。

停車時(shí)，應(yīng)先停渣漿泵，后停冷卻潤(rùn)滑系統(tǒng)。