·電感式采用電感位移傳感器作為敏感元件，測量精度高、信噪比高，但電路處理復(fù)雜；壓電式的位移敏感元件為壓電晶體，其靈敏度高、結(jié)構(gòu)簡單，但傳感器低頻響應(yīng)不好、且容易漏電造成測量誤差；光電式是利用光電元件接收透過狹縫的光通量變化來檢測位移量的變化。

臺階儀測量精度較高、量程大、測量結(jié)果穩(wěn)定可靠、重復(fù)性好，此外它還可以作為其它形貌測量技術(shù)的比對。但是也有其難以克服的缺點：

1由于測頭與測件相接觸造成的測頭變形和磨損，使儀器在使用一段時間后測量精度下降；

2測頭為了保證耐磨性和剛性而不能做得非常細(xì)小尖銳，如果測頭頭部曲率半徑大于被測表面上微觀凹坑的半徑必然造成該處測量數(shù)據(jù)的偏差；

3為使測頭不至于很快磨損，測頭的硬度一般都很高，因此不適于精密零件及軟質(zhì)表面的測量。