儀器優(yōu)點：

    1. 分析精度極高

    2. 分析范圍廣泛

    3. 微區(qū)精準(zhǔn)定位

    4. 操作簡單快捷

    5. 結(jié)果可靠精準(zhǔn)

    6. 領(lǐng)先行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)

    性能優(yōu)勢：

    1.先進(jìn)的EFP算法：多層多元素、各種元素及有機(jī)物，甚至有同種元素在不同層也可精準(zhǔn)測量。

    2.上照式設(shè)計：實現(xiàn)可對超大工件進(jìn)行快、準(zhǔn)、穩(wěn)高效率測量。

    3.自動對焦：高低大小樣品可快速清晰對焦。

    4.變焦裝置算法：可對最大90mm深度的凹槽高低落差件直接檢測。

    5.小面積測量：最小測量面積0.002mm2

    6.大行程移動平臺：手動XY滑臺100*150mm，自動XY平臺200*200mm.

結(jié)構(gòu)設(shè)計：

    一六儀器研制的測厚儀獨特的光路交換裝置，讓X射線和可見光攝像同一垂直線，達(dá)到視覺與測試定位一體，且X光擴(kuò)散度極??；與EFP軟件配合達(dá)到對焦、變焦雙焦功能，實現(xiàn)高低、凹凸不平各種形狀樣品的測試；高集成的光路交換裝置與接收器的角度可縮小一倍，可以減少弧度傾斜放樣帶來的誤差，同時特征X射線可以穿透測試更厚的表層。

    獨創(chuàng)EFP算法：

    采用Fp算法的后一代全新核心算法--理論Alpha系數(shù)法，基于熒光X射線激發(fā)的基本原理，從理論上計算出樣品中每個元素的一次和二次特征X射線的熒光強(qiáng)度，在基于此計算Lachance綜合校正系數(shù)，然后使用這些理論a系數(shù)去校正元素間的吸收增強(qiáng)效應(yīng)。

    只需少數(shù)標(biāo)樣來校正儀器因子，可測試重復(fù)鍍層、非金屬、輕金屬以及有機(jī)物層。