PVA TePla 等離子去膠機(jī)

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       該系列等離子去膠機(jī)外觀簡潔，系統(tǒng)高度集成化，采用模塊化設(shè)計(jì)，可應(yīng)用與半導(dǎo)體、生物技術(shù)、材料等各個(gè)領(lǐng)域。其性能提供了出色的工業(yè)控制、失效報(bào)警系統(tǒng)和數(shù)據(jù)采集軟件?？蓾M足科研、生產(chǎn)等領(lǐng)域嚴(yán)格的控制要求。
        PVA TePla公司的高品質(zhì)、高性價(jià)比、操作簡單的等離子去膠機(jī)為各種不同應(yīng)用領(lǐng)域提供了解決方案，得到用戶的廣泛信賴。

規(guī)格參數(shù)：
2.45GHz風(fēng)冷微波電源（0～600W/0-1000W可調(diào)）/13.56MHz風(fēng)冷射頻電源（0～600W/0～300W/0～1000W可調(diào)）
石英/鋁/陶瓷腔體，
zui多6路工藝氣體，高精度不銹鋼防腐蝕MFC控制，
1路保護(hù)性回填氣體，1路驅(qū)動(dòng)氣體
兼容8英寸及以下晶圓
PC工控機(jī)控制，運(yùn)行數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)監(jiān)控、存儲
操作分級權(quán)限管理操作，防止誤操作
圖形化觸控屏操作，運(yùn)行狀態(tài)實(shí)時(shí)顯示
外形尺寸：775×749×781 mm / 737×1980×1118 mm
重量：134KG/ 350KG

可選配置：
可選配干泵、旋片泵、渦輪泵、羅茨泵
可選配法拉第桶
可選配水冷溫控裝置（冷卻板、液體循環(huán)機(jī)）
可選配壓力控制系統(tǒng)（1%精度真空規(guī)、壓力控制系統(tǒng)）

應(yīng)用領(lǐng)域:
去除光刻膠 
去除殘膠 
SU-8灰化
晶圓和襯底的清潔
氮化硅、聚酰亞胺等的刻蝕
刻蝕鈍化層 
逆向分析/失效分析中的器件開封
微量分析中低溫材料灰化

公司主要研發(fā)、制造和銷售的檢測儀器有：電壓擊穿試驗(yàn)儀、高壓漏電起痕試驗(yàn)儀、耐電弧試驗(yàn)儀、鐵電材料測試儀器、介電常數(shù)及介質(zhì)損耗測試儀、表面及體積電阻率測試儀、壓電材料測試儀器、熱電材料測試儀器、絕緣材料電性能檢測設(shè)備、高溫管式爐\反射爐\氣氛爐、高溫電性能測試設(shè)備、EST靜電檢測儀器、硅橡膠\絕緣子行業(yè)測試設(shè)備、PCB\三防漆電子材料測試、電氣薄膜電學(xué)檢測儀器、高低壓電氣材料測試設(shè)備、電線電纜行業(yè)電學(xué)測試設(shè)備、高分子材料電學(xué)測試儀器、熱分析儀器、電氣安規(guī)檢測儀器、半導(dǎo)體芯片類測試儀器等，可接定制儀器訂單。