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好的潔凈車間設計不僅能節(jié)省能源、降低運行成本、降低人力投入，而且可以給生產(chǎn)提供安全可靠的保證。在3種潔凈系統(tǒng)中，F(xiàn)FU循環(huán)系統(tǒng)運行成本很低，潔凈度安全性很高，因此集成電路潔凈廠房多采用FFU循環(huán)系統(tǒng)。而潔凈度要求越高，溫濕度控制精度越高則潔凈室投資和運行成本越高，因此在大環(huán)境潔凈度或溫濕度要求相對較低的情況下，將一些關鍵的工藝設備布置在較高潔凈度或溫濕度控制區(qū)域內(nèi)是集成電路制造潔凈廠房的設計趨勢。

凈化車間門窗固定縫隙（一類和三類）的處理：

此類縫隙查的安裝縫隙不僅在每樟凈化車間門窗當今相對數(shù)量較少，而且樘與洞口的結合經(jīng)裝修后比較隱蔽，是比較容易密封的間定縫隙。棱與洞口周邊連接應牢固，不僅是密閉凈化車間門窗，還是一般凈化車間門宙構造的要求，由于凈化車間門的受力大而猛，在凈化車間門程的固定中尤應注意程及其洞口周邊的固定點是否牢固穩(wěn)定，但對密閉凈化車間門窗來說，還必須強調(diào)膛與凈化車間門洞或宙桐間的縫隙中填塞密實，而后覆蓋以室內(nèi)和室外的墻面裝修層就可基本保證這類縫隙的氣密性，第二類固定縫隙即玻璃或其他芯板的安裝縫隙。在一橙凈化車間門的縫隙數(shù)量中相對所占比例較小，但在一膛宙的構造縫隙中卻往往是主要部分，特別是對于外宙，它們暴露在大氣中，受室外氣候的影響，須慎重處理，一方面要盡量減少芯條玻璃安裝縫隙，一方面要慎重選擇設防構造。

減少系統(tǒng)送風量：潔凈室內(nèi)的送風量較之一般恒溫恒濕空調(diào)房間內(nèi)的送風量大很多，設法減少系統(tǒng)的送風速度，可有效地節(jié)省處理空氣所耗用的能量，達到節(jié)能運行的目的；在滿足工藝條件的前提下，將室內(nèi)橫斷面平均風速降低20%，此時房間的送風量大約可減少20%左右，這樣不僅減少了空氣處理所消耗的能量，而且也減少了輸送設備風機運行的耗電量。