SVCS臥式低壓化學氣相沉積爐管SVCS沉積高品質(zhì)的n型摻雜
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是否進口 否
加工定制 是
類型 半導體芯片類測試儀器
品牌 SVCS
型號 SVCS
產(chǎn)地 天津
產(chǎn)品用途 沉積n型摻雜
是否跨境貨源 否
產(chǎn)品名稱 低壓化學氣相沉積爐管
電壓 220V
商品介紹

臥式低壓化學氣相沉積爐管


產(chǎn)品簡介

用于沉積高品質(zhì)的n型摻雜或非摻雜的多晶硅或非晶硅；用于沉積高品質(zhì)的低應力氮化硅或氮氧化硅。


主要技術(shù)指標

    爐管1：N型多晶硅以及非晶硅薄膜沉積工藝

氣體：高純N2、SiH4、PH3

    爐管2：低應力氮化硅，氮氧化硅薄膜

氣體：高純N2、NH3、N2O、SiH2Cl2

    溫度：700-900 °C

    硅片尺寸：3英寸、4英寸、6英寸圓片；50片/爐


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公司名稱 北京華測試驗儀器有限公司
聯(lián)系賣家 肖工 （QQ：479014311）
電話 祹祺祹-祵祻祳祻祹祺祺祸
手機 祺祷祷祸祺祻祵祹祶祴祻
地址 北京市海淀區(qū)
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