根據使用的范圍和抽氣效能可將真空泵分為三類： (1)一般水泵，壓強可達到1.333~100kPa(10~760mmHg)為"粗"真空。 (2)油泵，壓強可達0.133~133.3Pa(0.001~1mmHg)為"次高"真空。 (3)擴散泵，壓強可達0.133Pa以下，(10-3mmHg)為"高"真空。 若要較低的壓力，那就要用到油泵了，好的油泵能抽到133.3Pa(1mmHg)以下。

特點(1)在較寬的壓力范圍內有較大的抽速；(2)轉子具有良好的幾何對稱性，故振動小，運轉平穩(wěn)。轉子間及轉子和殼體間均有間隙，不用潤滑，摩擦損失小，可大大降低驅動功率，從而可實現較高轉速；(3)泵腔內無需用油密封和潤滑，可減少油蒸氣對真空系統的污染；(4)泵腔內無壓縮，無排氣閥。結構簡單、緊湊，對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感；(5)壓縮比較低，對氫氣抽氣效果差；(6)轉子表面為形狀較為復雜的曲線柱面，加工和檢查比較困難。