江蘇專(zhuān)業(yè)的紫外線(xiàn)曝光機(jī)廠(chǎng)家
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東莞市永祺機(jī)械設(shè)備有限公司
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所在地區(qū)
廣東省東莞市
江蘇專(zhuān)業(yè)的紫外線(xiàn)曝光機(jī)廠(chǎng)家
接觸式曝光指掩膜板直接與光刻膠層接觸。曝光出來(lái)的圖形與掩膜板上的圖形分辨率相當(dāng),設(shè)備簡(jiǎn)單。接觸式,根據(jù)施加力量的方式不同又分為:軟接觸,硬接觸和真空接觸。接觸的越緊密,分辨率越高,當(dāng)然接觸的越緊密,掩膜和材料的損傷就越大。 (1)軟接觸:把基片通過(guò)托盤(pán)吸附住(類(lèi)似于勻膠機(jī)的基片放置方式),掩膜蓋在基片上面; (2)硬接觸:將基片通過(guò)一個(gè)氣壓(氮?dú)猓?,往上頂,使之與掩膜接觸; (3)真空接觸:在掩膜和基片中間抽氣,使之更加好的貼合(想一想把被子抽真空放置的方式)