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凈化車間工程傳統(tǒng)技術(shù)與無塵室新技術(shù)的對比無塵空氣凈化車間的結(jié)構(gòu)組成說明：按照無塵凈化車間管理規(guī)定，無塵凈化級別主要就是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子的數(shù)量來規(guī)定。但是對于光學(xué)構(gòu)造來講，一點點的灰塵都可能會產(chǎn)生非常大的不好的影響。因此在無塵凈化車間管理規(guī)定中說明在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，要求無塵凈化車間無塵是必然的。

傳統(tǒng)初中過濾的凈化方式機組只能做到過濾和交換新風(fēng)，恒效運行凈化機組可以將自動除塵技術(shù)提升到將塵埃收集到規(guī)定容器，廢物回收利用;可以凈化空氣中氣態(tài)有機污染物、祛除異味;可以做到增氧補氧、解決車間的“悶罐”現(xiàn)象。并可將單一的凈化機組擴展為恒溫：同凈化系統(tǒng)使用同一管道，相互獨立開啟;恒濕：通過濕度傳感器自動起關(guān)恒濕裝置，濕度低時自動加濕，高時自動抽濕，達(dá)設(shè)定濕度參數(shù);機組內(nèi)預(yù)留擴展及升級模塊，不但可殺滅現(xiàn)有病菌病毒，對不能殺滅的新型病毒可通過升級完成，生物安全隔離，符合《突發(fā)公共衛(wèi)生事件應(yīng)急條例》。關(guān)鍵是可以將全部的功能模塊放在一個系統(tǒng)，達(dá)到客戶所要求的標(biāo)準(zhǔn)。

對于半導(dǎo)體工業(yè)而言，無塵室是一必要且不可缺之設(shè)備，其對空氣中的粒子要求非常之嚴(yán)格，故對天花板、墻壁、地板的要求亦非常嚴(yán)格。地板是人員、臺車及重量的運輸，而清除地板所用者大部分為消毒的藥品及化學(xué)藥品，當(dāng)我們看見地板磨損時，也就是使用期已太久，快破了，不僅會使得清靜度的降級，也會因地板的磨損而發(fā)生空氣中粒子的增加。