濟南誠澤機械有限公司專業(yè)生產(chǎn)羅茨鼓風機，三葉羅茨鼓風機，高壓雙油箱水冷式風機，沼氣增壓泵，管道增壓泵，真空泵的廠家，公司本著“質量優(yōu)質，誠信為本”的指導方針，以過硬的產(chǎn)品質量，及時完善的售后服務已在國內(nèi)外市場占領一席之地。公司不僅有使您滿意的銷售，而且有令您放心的售后服務，徹底追求產(chǎn)品質量和建立相應的售后服務體系是我們一貫的方針，我們將總結經(jīng)驗、不斷進取，研制出更新、更好的產(chǎn)品來滿足用戶的需求，用我們?nèi)坏姆?，為您企業(yè)的發(fā)展作最有力的后盾。

消除故障編輯
一般故障
極限壓力不高（1）管道、系統(tǒng)漏氣。（2）泵部分漏氣。（3）前極泵極限壓力下降。4）潤滑油太臟或牌號不符。（5）油封磨損。（6）溢流閥處漏氣。
抽速不足（1）管道通導能力不夠。（2）前級泵抽速下降。（3）溢流閥處漏氣。
電動機過載（1）入口壓力過高。（2）轉子端面與端蓋單面接觸。（3）前級泵返油進泵腔。（4）溢流閥卡住，使出口過高。
過熱（1）選擇的前級泵抽速不夠，造成壓縮比過大。（2）入口壓力過高。（3）冷卻不良。（4）齒輪箱潤滑油過高。（5）轉子與泵殼接觸（6）齒輪、軸承、油封潤滑不良。
聲音異常（1）裝配不良。（2）導向齒輪與轉子位置偏移使轉子相碰。3）入門壓力過高。（4）過載或潤滑不良造成對齒輪的損傷。（5）軸承磨損。
軸承、齒輪
早期磨損嚴重（1）潤滑油不良。（2）潤滑油不足。

濟南誠澤機械有限公司專業(yè)生產(chǎn)羅茨鼓風機，三葉羅茨鼓風機，高壓雙油箱水冷式風機，沼氣增壓泵，管道增壓泵，真空泵的廠家，公司本著“質量優(yōu)質，誠信為本”的指導方針，以過硬的產(chǎn)品質量，及時完善的售后服務已在國內(nèi)外市場占領一席之地。公司不僅有使您滿意的銷售，而且有令您放心的售后服務，徹底追求產(chǎn)品質量和建立相應的售后服務體系是我們一貫的方針，我們將總結經(jīng)驗、不斷進取，研制出更新、更好的產(chǎn)品來滿足用戶的需求，用我們?nèi)坏姆?，為您企業(yè)的發(fā)展作最有力的后盾。

干式真空泵日常維修及保養(yǎng)注意事項
對于整個真空泵行業(yè)來說，在未來干式真空泵 將成為行業(yè)發(fā)展的主流趨勢，雖然現(xiàn)在用的還不多，除了價格高原因外，還有用戶對干式真空泵的了解不到位，看不到帶
濟效益，下面小編就來給大家介紹一下干式真空泵維修和保養(yǎng)。
對于這些不同類型的干式真空泵，我們都渴望能夠將其物理尺寸減小。但這與真空泵的抽氣速率相矛盾，因為真空泵的抽氣速率與真空泵的容積成正比，物理尺寸小意味著容積也小。當然，還有一個影
速率的重要因素，那就是轉速。為了讓小尺寸的真空泵的抽氣速率與大尺寸真空泵的抽氣速率相匹配，就需要提高它的轉速。真空泵維修保養(yǎng)非常重要。而想要改變真空泵的轉速有兩種方法，一是改變
采用變頻器;二是改變齒輪箱的傳動比。其中，采用變頻器的好處是可以提供一個閉環(huán)控制，但在大負載下容易引起扭距的損失。而改變齒輪箱的傳動比是一種非常經(jīng)濟的方法，當然，它只能提供不可控
現(xiàn)在，可以看到干式真空泵有著如此多的不同設計，它們各自有著自己的特性和優(yōu)缺點。一直以來，使用成本是一個影響人們選擇真空泵的重要因素。越來越多的真空泵用戶意識到也應該將真空泵運行
去。因為真空泵的意外出錯會引起機器的使用效率降低，影響到晶圓的生產(chǎn)和交貨期，甚至造成所加工晶圓的報廢和機器其它部件的損壞。由于螺桿式設計為單級設計，同多級泵如圓裂片式，爪式以及
在零件的使用數(shù)量上減少了60%。這使得其在穩(wěn)定性和將來的維修成本上有很大的優(yōu)勢。
綜合考慮，如果用戶認為耗電量對他來說*為重要而氮氣用量對他來說*不重要，那么選擇內(nèi)部壓縮型螺桿式可以是一個好的選擇。但普遍說來，對尾氣處理越來越嚴格的要求使得將來對減少氮氣的用量
果你希望用單一類型的泵不經(jīng)過改變來處理各種不同的半導體工藝，而使得你的庫存控制簡單化，那么外部壓縮型螺桿式是你*好的選擇。

濟南誠澤機械有限公司專業(yè)生產(chǎn)羅茨鼓風機，三葉羅茨鼓風機，高壓雙油箱水冷式風機，沼氣增壓泵，管道增壓泵，真空泵的廠家，公司本著“質量優(yōu)質，誠信為本”的指導方針，以過硬的產(chǎn)品質量，及時完善的售后服務已在國內(nèi)外市場占領一席之地。公司不僅有使您滿意的銷售，而且有令您放心的售后服務，徹底追求產(chǎn)品質量和建立相應的售后服務體系是我們一貫的方針，我們將總結經(jīng)驗、不斷進取，研制出更新、更好的產(chǎn)品來滿足用戶的需求，用我們?nèi)坏姆?，為您企業(yè)的發(fā)展作最有力的后盾。

真空腔室的模塊化設計和加工

該設備屬生產(chǎn)設備，主要功能包括：鈦/鋯磁控濺 射鍍裝飾膜，反應膜、復合膜。其它功能還包括：行星旋轉基片臺、負偏壓輔助沉積、PLC+HMI真空自動/手動控 制、水冷循環(huán)及斷水保護系統(tǒng)，預留多個標準接口。真空腔室的模塊化設計和加工。通過此項技術提高了腔室設計和加工效率，提高了重大部件的加工質量和互換性，縮短了整條線的交貨周期。使用高性能旋轉陰極和中頻電源，大蒸發(fā)電流達到400A，大大提高生產(chǎn)效率及膜層性能；通過輔助5段供氣，提高真空環(huán)境工藝氣體分布均勻性，提高膜層質量；安裝整體式模塊化陰極屏蔽擋板，大大減少維修時間，降低維修成本。陰極采用隔離冷卻裝置，改變以往陰極磁鋼因工作在循環(huán)水中不斷吸附雜質而影響磁場強度和壽命。新方法使磁鋼工作在真空環(huán)境，大大提高了陰極穩(wěn)定性和壽命。采用自主研發(fā)的傾斜式磁鋼矩陣排列，擴大了陰極靶材表面氣隙場范圍，增大了靶材被刻蝕濺射的面積，提高靶材的利用率和均勻性。表面氣隙場水平分量均勻性在±2%以內(nèi)。使用自主研發(fā)的三維空間磁場測量分析系統(tǒng)，系統(tǒng)用于測量磁鋼陣列的空間氣隙場分布及磁鋼安裝、調(diào)整，為陰極研發(fā)提供有效的技術手段。觸摸屏+PLC，可以實現(xiàn)電腦全自動控制，自動/手動隨時切換。同時配備先進的圓柱磁控濺射裝置和高效的電阻加熱蒸發(fā)裝置，將磁控濺射技術和加熱蒸發(fā)技術的有效結合，使設備的適用范圍更廣，可得到多種不同性能的膜層；獨特的雙門（室）結構，使工件及鍍料的裝卸與鍍膜可同時進行，大大提高工作效率。