紫外線和強(qiáng)度能量計(jì)——用于高強(qiáng)度晶圓步進(jìn)器：ASML、Nikon、Canon和Ultratech
 
該儀器設(shè)計(jì)用于ASML、佳能、尼康和超技術(shù)高強(qiáng)度晶圓步進(jìn)器。基于微處理器的358型
外線強(qiáng)度和能量計(jì)可測(cè)量、存儲(chǔ)和調(diào)用9個(gè)系列的讀數(shù)。可讀取365、400、420和436 nm
波長(zhǎng)的強(qiáng)度、能量和時(shí)間(4000 mW/cm2, 999.9 mJ/cm2)。
應(yīng)用
358型非常適合各種需要精確測(cè)量紫外線能量的行業(yè)，適用于任何需要重復(fù)、可靠紫外線
測(cè)量的應(yīng)用。
 
特點(diǎn)：
數(shù)字顯示提供可追溯至NIST的清晰測(cè)量
測(cè)量強(qiáng)度、時(shí)間和能量
記錄一系列曝光的偏差百分比
探頭波長(zhǎng)顯示有助于防止設(shè)置錯(cuò)誤
簡(jiǎn)單的按鈕操作提供可靠的結(jié)果
與許多光刻膠的光譜響應(yīng)相匹配的可拆卸探針
顯示讀數(shù)可以鎖定
前面板提醒提示用戶
堅(jiān)固的鋁外殼，帶有手柄和探頭袋，便于攜帶
 
參數(shù)：
強(qiáng)度范圍(mw/cm2)  40-4000
能量范圍 (mJ/cm2)   0-9999
時(shí)間范圍 (seconds)  0-9999
波長(zhǎng)選擇 (nm)    365, 400，420, 436
精度     ± 3.0 (WB)  ± 1.5 (NB)
線性(%)  2
用途:   高強(qiáng)度步進(jìn)機(jī) 
計(jì)算 ：平均能量; 能量偏差百分比,可達(dá)9個(gè)通道的強(qiáng)度和時(shí)間
輸出輸入：   打印，通道選擇，選擇探頭，波長(zhǎng)檢查
電力   110/220 VAC, 50/60 Hz, 可充電 6v電池 (自動(dòng)關(guān)閉)
尺寸  12.0 W x 5.0 H x 9.0 Dcm
重量   約3.6 kg
 
更有357型號(hào)可選，區(qū)別在于波段選擇和步進(jìn)器選擇上的不同。

注：波段只能選擇一個(gè)。多選請(qǐng)單獨(dú)付費(fèi)。