粉末顆粒懸浮立式管式爐又稱為流化床立式管式爐，專門針對粉末表面沉積的CVD實驗，爐管為高純石英管，爐管內(nèi)部嵌有一多孔石英板，石英板的孔徑為5-15um.粉末可放在多孔石英板上，氣體可從爐管下端通入，通過多孔石英板使樣品顆粒懸浮在加熱區(qū)域，進行沉積實驗。

立式管式爐燒結(jié)的粉末放置在砂芯層上，氣體從爐管下端法蘭處通入，通過砂芯層使樣品顆粒在氣流的帶動下懸浮在加熱區(qū)域（一般穩(wěn)定在恒溫區(qū)內(nèi)），進行沉積實驗。

顆粒懸浮立式管式爐是一款小型開啟式立式管式爐，其爐管直徑為φ30mm、50mm、80mm可選，適合于對樣品在真空或氣氛保護環(huán)境下吊燒和淬火。如果選用不同的配件與裝置搭配，其也可以當作一款流化床立式管式爐來使用，可專門針對粉末表面沉積的CVD實驗，此時，在高純石英爐管內(nèi)部嵌有石英砂芯，其孔徑在5-15um內(nèi)。燒結(jié)的粉末放置在砂芯層上，氣體從爐管下端法蘭處通入，通過砂芯層使樣品顆粒在氣流的帶動下懸浮在加熱區(qū)域（一般穩(wěn)定在恒溫區(qū)內(nèi)），進行沉積實驗。

1200℃帶超聲霧化的流化床CVD管式爐系統(tǒng)、臥式流化床爐、立式流化床爐。

立式管式爐主要用途：

顆粒懸浮立式管式爐是一款流化床立式管式爐，專門針對粉末表面沉積的CVD實驗。反應氣體和均勻地通過反應區(qū)，固體顆粒被通入的氣體懸浮在加熱區(qū)內(nèi)

顆粒懸浮立式管式爐的爐體設計為開啟式，當實驗結(jié)束后，可將爐體打開，拿出石英管，取出反應后的顆粒。

注意：在通入氣體懸浮起樣品顆粒時，也許會因為氣體流量過大會使顆粒穿過加熱區(qū)，所以實驗時要根據(jù)顆粒的大小尺寸來調(diào)節(jié)氣體流量等

立式管式爐結(jié)構(gòu)特點：

爐管為高純石英管，爐管內(nèi)部配置一嵌有一多孔石英板的石英舟，石英板的孔徑可單獨定制。.粉末可放在多孔石英板上，氣體可從爐管下端通入，通過多孔石英板使樣品顆粒懸浮在加熱區(qū)域，進行沉積實驗
流化床立式管式爐是門針對粉末表面沉積的CVD實驗。反應氣體和均勻地通過反應區(qū)固體顆粒被通入的氣體懸浮在加熱區(qū)內(nèi)爐體設計為開啟式，當實驗結(jié)束后，可將爐體打開，拿出石英管，取出反應后的顆粒。注意：在通入氣體懸浮起樣品顆粒時，也許會因為氣體流量過大會使顆粒穿過加熱區(qū)，所以實驗時要根據(jù)顆粒的大小尺寸來調(diào)節(jié)氣體流量等

顆粒懸浮立式管式爐技術(shù)參數(shù)

顆粒懸浮立式管式爐使用注意事項：

1、爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

2、由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加*安全

3、當爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態(tài)

4、進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

5、石英管的長時間使用溫度＜1100℃

6、由對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等