Aerotech ANT-95系列氣浮軸承直驅(qū)直線運(yùn)動(dòng)平臺，擁有超高精度的定位功能，精度在0.2~0.5um之間。

ant95系列定位平臺優(yōu)點(diǎn)：

?幾何性能卓越的氣浮導(dǎo)軌

?1.2 m x 1.2 m 的行程

?光柵尺或激光回饋干涉儀

? 分辨率1nm

? 重復(fù)定位精度50nm

?亞微米定位精度

?XY 和 XYZ 集成系統(tǒng)

?無槽直接驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)

同時(shí)我們還提供其他型號的納米級直線、旋轉(zhuǎn)高精密運(yùn)動(dòng)平臺，比如 pro系列，ABL系列等等。

型號包括：

ANT95-50-10-NC-LT05AS-SINGLE-C50S

ANT95-50-10-NC-LT05AS-SINGLE-C50S

ANT95-50-10-NC-LT06AS-SINGLE-C50S

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