超高真空 (UHV) 光柵，真空光柵包括真空?qǐng)A光柵和真空直線光柵尺，

UHV產(chǎn)品特征如下：

– RESOLUTE UHV是首款適合在UHV環(huán)境下使用的值真空式光柵

– 由真空兼容材料和粘合劑制成，出氣率低

– 殘余氣體分析 (RGA) 經(jīng)驗(yàn)證不會(huì)污染真空環(huán)境

– 120 °C烘焙溫度

– 非接觸開(kāi)放式光學(xué)系統(tǒng)提供高速、可靠的操作，摩擦和磨損均為零

– 具備工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的模擬和數(shù)字輸出，分辨率達(dá)1 nm

– 電耗低、發(fā)熱小

– 無(wú)氣密孔

– 自適應(yīng)電路可提供高性能、長(zhǎng)期可靠性和低電子細(xì)分

誤差 (SDE)（RESOLUTE UHV為±40 nm，TONiC UHV為±30 nm，RGH25F UHV和

RGH20F UHV為±50 nm)

– UHV兼容電纜

– TONiC UHV光柵具有光學(xué)參考零位

– 高精度直線光柵和圓光柵系列

RESOLUTE UHV、TONiC UHV、RGH25F

UHV和RGH20F UHV讀數(shù)頭

雷尼紹超高真空 (UHV) 兼容光柵系列中的所有產(chǎn)品都經(jīng)過(guò)專門設(shè)計(jì)，用于各種科學(xué)、半導(dǎo)體

和其他高級(jí)工業(yè)應(yīng)用場(chǎng)合，真空壓力達(dá)10-11 Torr。其基本工作原理與我們的同類標(biāo)準(zhǔn)大氣壓下的產(chǎn)

品相同，但是UHV光柵在設(shè)計(jì)上消除氣密孔，并且由潔凈的真空兼容材料和粘合劑特制而成。產(chǎn)

品在UHV環(huán)境下的適用性已獲得獨(dú)立的專業(yè)檢驗(yàn)站鑒定，包括殘留氣體分析 (RGA) 光譜測(cè)試。

該系列包括RESOLUTE、TONiC、RGH25F和RGH20F讀數(shù)頭，以及各種直線光柵和圓光

柵，提供優(yōu)異的性能和高可靠性。

RESOLUTE UHV采用真正意義上的式光柵工作原理，與RESOLUTE系列的其他產(chǎn)品相

同。因此光柵具備小柵距性能，并且安裝公差大，內(nèi)在安全性高。RESOLUTE開(kāi)啟后立即確定

位置，減少非受控運(yùn)動(dòng)，并且有助于執(zhí)行完整的軸命令，無(wú)需返回基準(zhǔn)位置或者“開(kāi)啟并晃

動(dòng)”。RESOLUTE的分辨率為1 nm，電子細(xì)分誤差 (SDE) 為±40 nm，RMS噪音<10 nm，同時(shí)也

幫助用戶顯著提高性能。

該系列中的所有增量式讀數(shù)頭都包含動(dòng)態(tài)信號(hào)調(diào)整功能，其中自動(dòng)增益控制 (AGC) 有助于長(zhǎng)

時(shí)間內(nèi)獲取穩(wěn)定可靠的信號(hào)，而自動(dòng)偏置量控制 (AOC) 則有助于提高信號(hào)保真度。AOC和光柵的

低位置噪聲也有助于降低直驅(qū)系統(tǒng)的速度波動(dòng)，從而在程度上幫助減少真空條件下電機(jī)中積

聚的熱量。

通過(guò)直線測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)確保了高精度，其中包括自貼式鋼帶柵尺、不銹鋼和ZeroMet柵尺選項(xiàng)。圓

光柵選項(xiàng)包括輕薄小巧的RESR / RESM和超高精度的REXM圓柵，精確度保證優(yōu)于±1角秒。