規(guī)格手冊

L-9517-9453-01-A

是真正意義的式光柵、它是擁有精細(xì)

柵距的光柵系統(tǒng)、具有極好的抗污染能力、其超凡的技

術(shù)指標(biāo)更是位置反饋領(lǐng)域的一大新突破。

專利技術(shù)采用高精度直線鋼帶和因鋼柵尺或圓光柵，在100 m/s

(36 000 rev/min) 的超高速下可實現(xiàn)1 nm的分辨率。

30 μm

±40 nm (SDE) 10 nm RMS

IP64

 真正的式非接觸式光柵：

無需電池

 寬松的安裝公差使安裝簡單

雷尼紹光柵具有的靈活性、市場領(lǐng)先的性能和低購買價格，使其成為機器設(shè)計者的。多年來，我們一

直幫助用戶安裝靈活的有錐度基面的圓光柵，從而獲得許多關(guān)于圓光柵應(yīng)用的知識。借助于這種經(jīng)驗，我們開發(fā)出了

一種圓光柵產(chǎn)品，其不止是一些特色的羅列，而更是能從根本上詮釋用戶使用意圖的產(chǎn)品。RESR 圓光柵是基于雷尼紹的獨一

無二的RGR 圓光柵基礎(chǔ)開發(fā)出來的，它是在不銹鋼圓環(huán)的表面使用了雷尼紹靈活的直線光柵。而RESR 圓光柵的刻線

是直接刻在圓環(huán)的外表面上的（柵距20μm 或40μm ），這樣就消除了R G R 潛在的在接合處信號丟失的危險，簡化了

安裝過程并實現(xiàn)較高的速度。柵距20μm 的RESR 圓光柵使用雷尼紹新型的RGH20 讀數(shù)頭，而柵距40μm

的RESR 光柵使用RGH34 或RGH40 讀數(shù)頭。順理成章地，所有讀數(shù)頭都具有雷尼紹的的光學(xué)濾波系統(tǒng)的設(shè)

計，可在有污物、劃痕或油膩指紋情況下讀數(shù)。RESR 有多種直徑可選，所有內(nèi)徑有共同特色，即比外徑小20mm，使它們

具有超小的截面和大的內(nèi)徑 — 易于安裝所有必需的管線。這種輕薄的設(shè)計賦予其非常低的轉(zhuǎn)動慣量，保證無論安裝

在哪里，整個系統(tǒng)扭矩最小，速度最快。雖然橫截面小，卻不影響它的精度。事實上，與雷尼紹的獲得專利的錐

度基面安裝配合使用，所有的安裝超差— 包括那些來自于原安裝面的誤差 —以及跳動或橢圓度都可通過簡單而牢固

的精確調(diào)整獲得補償。為何要使用RESR？

l 系統(tǒng)精度為± 0.7″（光柵直徑

為413mm）

l 角度分辨率為0.01″

l 多種直徑和刻線數(shù)，與一系列的

工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的控制器兼容（直徑從

52 m m 到413 m m，刻線數(shù)從

4,096 到64,800 ）

l 高速、非接觸的光學(xué)測量系統(tǒng)

l 零反向間隙

l 具有專利的錐度基面安裝方式，

使安裝簡單、誤差最小

l 與高真空兼容

l 外型小巧，易于集成

l 低質(zhì)量、低轉(zhuǎn)動慣量

l 有100，150 和200 m m 外徑的

超低轉(zhuǎn)動慣量的圓光柵可選

RGH20 簡介

l 與20μm 柵距RESR 圓光柵兼容

l 光學(xué)濾波系統(tǒng)提供優(yōu)異的抗污跡

能力

l 小巧堅固的外殼

l 工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的數(shù)字和模擬信號輸出

l 內(nèi)置細(xì)分卡和安裝LED 指示燈

l 分辨率從5 μm ，1 μm，0.5 μm ，

0.1μm，50nm，20nm 到10nm

l 參考零位或單限位開關(guān)傳感器

l 高柔性雙屏蔽8 芯電纜

l 三態(tài)低電平報警信號或全報警輸出

l14.8mm（或10.5 mm ）×36.

0mm×13.5mm (H×L×W)

l 可選高真空兼容型

RGH41 被用來讀取RGS40-S 金屬光柵，

而RGH40 則用于讀取RGS40-G 玻璃光

柵。同樣，標(biāo)準(zhǔn)配置包括有磁性零位

標(biāo)記和雙限位輸出。兩種讀數(shù)頭型號

都配有雷尼紹獨有的L E D 安裝指示燈。

RG4 本質(zhì)上采用了與RG2 相同的光

學(xué)原理。但假如這樣的話，下面圖示中

的紅外發(fā)光二極管LED 發(fā)出的光與光柵

軸線方向成90°反射，而不是與之相平

行。

指示光柵通過與RG2 相同的方式被

定位，以便在檢測平面內(nèi)產(chǎn)生正弦干涉

條紋。

RG4 系列光柵的工作原理允許使用

多種類型的光柵，例如：

1 ）表面涂漆，反面具有自粘層的

RGS40-S 鍍金鋼帶光柵。使用

一系列專用的光柵安裝工具，

便可很方便的實現(xiàn)光柵的連續(xù)

安裝。

2 ）長度較短并需要精度預(yù)校準(zhǔn)的

鍍鉻玻璃光柵。雷尼紹提供單

根長度最長為1m 的RGS40-G 玻

璃光柵。

3 ）用戶自行設(shè)計的反射式刻劃直

線光柵和圓鋼帶光柵

RG4 讀數(shù)頭繼承了RG2 短周期誤

差小的優(yōu)點，典型的周期誤差為±0.

25μm。RGS40-S 規(guī)定的線性度在

60mm 長度上僅有±1μm 并且在任意

1m 的長度上低于±3μm。RGS40-G

玻璃光柵的規(guī)格請參閱下頁。

RG4 系列產(chǎn)品種類

RGH41

l 與RGS40-S 鋼帶光柵兼容

l 小巧堅固的外殼

l 寬松的安裝調(diào)整間隙和公差

l 工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的數(shù)字和模擬信號輸出

l 內(nèi)置細(xì)分卡和安裝LED 指示燈

l 分辨率從10μm，5μm ，2 μm 到1μm

l 參考零位和雙限位開關(guān)傳感器

l 高柔性雙屏蔽12 芯電纜

l 三態(tài)低電平報警信號或全報警輸出

l 16.0mm×44.0mm×27.0mm (H×L×W)

RGH34

l 與RGS40-S 鋼帶光柵和其它40μm 反射光柵兼容

l 與40μm 的RESR 圓光柵兼容

l 超小、緊湊的讀數(shù)頭

l 寬松的安裝調(diào)整間隙和公差

l 質(zhì)量<2g

l 工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的數(shù)字和模擬信號輸出

l 緊湊的PCB 接口提供一系列的插補輸出

l 分辨率從10μ m，5μ m，2μ m，1μ m，0. 4μ m 到

0.2μm

l FPC 帶狀電纜

l 參考零位和單限位開關(guān)傳感器

l 三態(tài)低電平報警信號或全報警輸出

l 9.5mmX15mmX15mm(HxLxW)

RGH40

l 與RGS40-S 鋼帶光柵兼容

l 與40μm 的RESR 圓光柵兼容

l 小巧、緊湊的讀數(shù)頭

l 寬松的安裝調(diào)整間隙和公差

l 內(nèi)置細(xì)分卡和安裝LED 指示燈

l 工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的數(shù)字和模擬信號輸出

l 緊湊的PCB 接口提供一系列的插補輸出

l 分辨率從10μ m，5μ m，2μ m，1μ m，0. 4ìm 到0.2 μ m

l 參考零位和單限位開關(guān)傳感器

l 高柔性雙屏蔽12 芯電纜

l 三態(tài)低電平報警信號或全報警輸出

l 17mmX44mmX27mm(HxLxW)

RGH40-G

l 鍍鉻刻線柵距為40 μ m的玻璃光柵尺

l 標(biāo)準(zhǔn)測量長度有1 2 0 、1 70 、2 2 0 、2 7 0 、3 0 0 、

500、750mm 和1000mm 可選

l 熱膨脹系數(shù)<8.3 - 8.5ppm/℃

l 精度：± 4.16μ m/m

l 可用金屬夾或可選的自粘安裝方式

l 同RGH40 讀數(shù)頭系列兼容

G 4 的優(yōu)點是安裝簡便、容污性強，這種

優(yōu)點被用于X Y 系統(tǒng)。緊湊的讀數(shù)頭使用玻璃網(wǎng)格板的“棋

盤”式鍍鉻刻線作為指示光柵尺，該系列有不同規(guī)格。

工作原理

同RG2 和RG4 系統(tǒng)一樣，RGH42 讀數(shù)頭的各光學(xué)元件讀

取來自刻線的和最弱的反射光。因為反射區(qū)域和非反射

區(qū)域組成的圖案使X 軸和Y 軸都有反射光，由讀數(shù)頭中互成

90o的兩個光學(xué)元件分別讀取。

光柵尺

光柵板由熱膨脹系數(shù)為8μm/m/℃的玻璃制成。鍍鉻

光柵板X 軸和Y 軸的柵距都是40μm，可與RG4 讀數(shù)頭兼

容。平面光柵的尺寸可達(dá)200mmX200mm。

讀數(shù)頭

RGH42 讀數(shù)頭的兩個光學(xué)元件集成在一個殼體內(nèi)，分別

讀出X , Y 軸的信號并通過兩路獨立的電纜輸出。

讀數(shù)頭輸出為1Vpp 的標(biāo)準(zhǔn)模擬量輸出，一系列RGE 細(xì)

分卡可輸出數(shù)字量方波信號，分辨率為10 μ m 到0 . 1μ m。

細(xì)分卡內(nèi)置安裝LED 指示燈。

讀數(shù)頭的安裝面可為頂部、底部或側(cè)面，標(biāo)準(zhǔn)塑料片

可調(diào)整安裝間隙。

性能

與RG4 讀數(shù)頭一樣，RGH42 的周期誤差小，典型情況

為± 0.25μ m。專用的平面光柵（70mmX70mm）精度為±

2.5 μ m +SDE（細(xì)分誤差）。

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