Aerotech QNP-L系列單軸線性壓電納米定位平臺(tái)

關(guān)鍵詞：壓電平臺(tái)/納米平臺(tái)/壓電陶瓷精密平臺(tái)

Aerotech的QNP?系列壓電納米定位平臺(tái)以緊湊，高剛度的封裝提供了亞納米級(jí)的性能。多種行程范圍（100 μm至600 μm）和反饋選項(xiàng)使其成為從顯微鏡到光學(xué)對(duì)準(zhǔn)的應(yīng)用的理想解決方案。

緊湊包裝中的高質(zhì)量

QNP壓電平臺(tái)受精密撓曲的指導(dǎo)，該撓曲使用有限元分析進(jìn)行了優(yōu)化，以確保高剛度和較長的設(shè)備壽命。最終的設(shè)計(jì)提供了出色的剛度和諧振頻率，從而實(shí)現(xiàn)了高處理量和快速的閉環(huán)響應(yīng)。此外，這些平臺(tái)被設(shè)計(jì)為提供出色的幾何性能（直線度和角度誤差），同時(shí)最小化了整體平臺(tái)的封裝尺寸。

高分辨率和定位精度

所有QNP壓電級(jí)均采用獨(dú)特的電容傳感器設(shè)計(jì)，提供閉環(huán)反饋選項(xiàng)，可實(shí)現(xiàn)亞納米分辨率和高線性度。電容式傳感器直接測量定位滑架的輸出，從而實(shí)現(xiàn)出色的精度和可重復(fù)性。

超精密控制

與Aerotech的Q系列控制器和驅(qū)動(dòng)器配合使用時(shí)，QNP壓電納米定位臺(tái)具有亞納米級(jí)的定位分辨率和就位穩(wěn)定性（抖動(dòng)）以及高定位帶寬。Aerotech的Dynamic Controls Toolbox和Motion Designer軟件包等軟件選件提供了許多先進(jìn)而易于使用的工具，例如Learning Control，Harmonic Cancellation和Command Shaping，從而改善了跟蹤誤差并縮短了分步和穩(wěn)定時(shí)間。

使用Aerotech的FlashConfig功能可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)參數(shù)和校準(zhǔn)識(shí)別。平臺(tái)會(huì)被自動(dòng)識(shí)別，所有操作參數(shù)（包括軸校準(zhǔn)數(shù)據(jù)）都將上載到控制器中，以確保安全，準(zhǔn)確和真正的“即插即用”操作。

特點(diǎn)

?  行程范圍從100 μm至600 μm

?  設(shè)備壽命長

?  高精度，無摩擦的撓性導(dǎo)向系統(tǒng)

?  借助直接計(jì)量電容傳感器，可實(shí)現(xiàn)高達(dá)0.007％的出色定位分辨率和線性度

?  與其他QNP系列壓電納米定位器的安裝兼容性

?  開環(huán)和真空版本

 
XY雙軸搭配方案

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